中古 AXCELIS XT300 #9390658 を販売中

AXCELIS XT300拡散炉は信頼性が高く、高度な設備です。このモデルは、拡散および酸化やエピタキシャル成長などの関連プロセスのために特別に設計されています。XT300は、垂直アーキテクチャ設計と不活性ガス排出装置を使用して、生産を最適化するための均一な材料加熱を保証します。このモデルには、チャンバー用の標準2 「x2」クォーツサセプターと、4 「x4」、 4 「x6」、 6 「x8」などのいくつかのオプションのクォーツサセプターが付属しています。温度の均一性は+/-2°Cまで達し、半導体加工の成功のための優れた安定性のレベル。さらに、温度範囲は、同軸冷却システムとPIDコントローラのおかげでリラータブルで制御可能です。さらに、AXCELIS XT300には、真空予熱器、材料の流れを改善するセラミックバッフル、汎用性をロードおよびアンロードするためのオプトエレクトロニクスユニットなど、さまざまなアクセサリーが含まれています。これらのすべての機能は、さまざまなウェーハサイズに対応しながら、より高いスループットを提供します。拡散炉には強力なプログラマブルクロックパネルが装備されており、ユーザーは時間と温度のプロファイルコントロールをカスタマイズすることができます。中央のタブマシンを備えた清潔なプリズムカセットもあります。この産業用拡散炉はまた、急速な加熱ツールを誇り、わずか12分で1200°Cの温度に達する能力を備えています。さらに、自動化された投与アセットは、独自の超低窒素パージと組み合わせて、エネルギーを節約し、正確な温度制御を維持します。全体として、XT300拡散炉は信頼できる信頼できるモデルです。その特徴は、困難な高温拡散プロセスに適しています。直感的なCOコントローラ、均一な温度設定、低消費電力、複数のクォーツサセプターにより、AXCELIS XT300は、拡散に関してあらゆる作業を簡単に行うことができます。