中古 ASYST / PST Melitas F30VH #293668221 を販売中

ASYST/PST Melitas F30VHは、精密ウエハ、ダイ、基板加工を可能にするように設計された高度な拡散炉およびアクセサリーです。F30VHは、高度な熱電対および温度制御システムと、最適なオペレータの安全性を確保するために設計された多数の安全機能を利用しています。PST Melitas F30VHは、シリコンウェーハ、薄膜、誘電体など、さまざまな基板の拡散プロセスに最適なソリューションです。最高温度1300°Cを誇る最上位炉は、幅広い拡散加工ニーズに対応します。効率的な設計には、4ゾーン加熱と再循環された冷却も含まれ、プロセス全体で正確な温度制御を保証します。使いやすさとメンテナンスのために、ASYST Melitas F30VHには直感的な制御システムとリモートモニタリング/アクセシビリティ機能が搭載されており、あらゆるリモートデバイスから炉の重要な動作情報に便利にアクセスできます。この炉には、温度サイクルとペアリングする特許取得済みの不活性ガス供給機能も含まれており、プロセスに基づいた最適化された起動およびシャットダウン手順を可能にします。Melitas F30VHには、拡散プロセス中の人員とプロセスを保護するための包括的な安全機能を備えた温度コントローラが含まれています。統合された熱管理システムは、必要なフィードバックループを使用して温度を細かく制御し、リアルタイム監視して安全で正確な動作を保証します。このデバイスには自動クリーニングサイクルも組み込まれており、その後のウェーハおよび基板プロセスに備えて炉の内部チャンバーを自動的にクリーニングするようにプログラムされています。クリーニングサイクルはまた汚染の危険を減らし、反復可能で、信頼できる性能を保障します。最後に、密閉構造によりデバイスを保護し、幅広い環境で安全で信頼性の高い動作を保証します。このデバイスは、エネルギー消費量とそれに伴うコストを削減するためのマルチモード電源設定により、エネルギー効率も高くなります。ASYST/PST Melitas F30VHは、最先端の安全システム、正確な温度制御、包括的なプロセスモニタリングにより、あらゆるウエハ、ダイ、基板プロセスに信頼性が高く効率的なソリューションを提供するため、さまざまなアプリケーションに最適な拡散炉です。