中古 ASYST / PST Melitas F303VD #9375207 を販売中

ASYST/PST Melitas F303VDは、半導体デバイス製造用の基板部品の急速な加熱および変換プロセスを容易にするように設計されたアクセサリの拡散炉およびパッケージです。高度な制御機能を備え、正確な監視、チューニング、再現可能な操作を可能にし、最新のデバイス製造に最適なソリューションです。この炉は2つのセグメントに分かれた石英チャンバーで構成されており、今日の半導体製造で必要とされる温度で合金を拡散またはアニールすることができます。均一な加熱と滑らかな表面仕上げのための加熱石英トッププレート、および最適化された温度プロファイル制御のための大きなサイドチャンバーを備えています。この炉には、ターボポンプを内蔵した真空システムが含まれています。このシステムは、最大1000°Cの温度を達成し、プロセス時間を30分まで維持することができます。PST Melitas F303VDには、背景圧力を制御するためのバロメトリックチャンバー、トランジションピース、熱ヒューズ、基板温度と圧力を測定および制御するためのPCM7プロセスコントローラなど、プロセス効率を向上させるために設計された付属品のパッケージが付属しています。プロセスコントローラは複数のプロセスレシピをサポートしているため、オペレータはセットポイントで最大100個のパラメータを保存でき、必要に応じて迅速な精度のプロセス調整が可能です。これは、簡単なプログラミングのためのエラストマーキーパッドと迅速な交換のためのソケット付きハードウェアを備えた2行の英数字LCDを備えています。ASYST Melitas F303VDは、半導体デバイス製造プロセスの効率とユーザビリティを向上させるように設計されています。操作を合理化し、迅速な処理を可能にする高度な制御機能を備えており、現代の製造プロセスに最適なソリューションです。