中古 ASYST / PST Melitas F30 #293668011 を販売中

ASYST/PST Melitas F30は、基板の熱処理のための最先端の拡散炉です。このシステムは、金属化学蒸着（MOCVD）、原子層蒸着（ALD）、エピタキシーなどの高度なプロセスに適しています。このユニットは、急速な熱処理を行う能力を備えたF30炉と、7真空サイクルロードロックで構成され、基板をチャンバーから出入りすることができます。高真空ステンレスで構成され、使用可能なチャンバーサイズは25インチ×25インチです。直径8インチまで、厚さ0。15インチまでの基板を受け入れることができます。F30拡散炉は950°Cまでの基質を扱うことができます。それは部屋を渡る温度の最適の均等性そして均等性のために設計されています。これは、高精度センサと温度制御アルゴリズムを備えたマルチゾーンヒーターと高度なin-situ温度コントローラを備えています。また、F30拡散炉にはCCDカメラを搭載し、加工中の基板を監視します。このカメラは、蒸発および凝縮プロセスに関するリアルタイムの情報を取得するだけでなく、チャンバーの清潔さと清潔さを検証するために使用することができます。F30炉で使用される基板キャリアは、高温アルミ合金で構成され、最高の保温のために高温絶縁材で裏打ちされています。キャリヤは、真空パージング性能を向上させるための石英ストロボと、正確な基板温度制御のための中央RFコイルを備えています。このマシンは、PSTおよびASYST Melitasのアクセサリ製品の範囲と互換性があります。これらには、低温アプリケーション用のコールドトラップ、低真空アプリケーション用のロードロック、ステンレススチールサンプルトレイ、石英インターフェースコンポーネント、および交換ヒーター要素が含まれます。F30拡散炉は、基板の熱処理のための信頼性と費用対効果の高いツールです。堅牢で使いやすいため、幅広い高度なプロセスアプリケーションに最適です。