中古 ASYST / PST DO-FF-HTO 15100-300 #9170685 を販売中

ASYST/PST DO-FF-HTO 15100-300は、高温薄膜およびポリシリコン蒸着用途に最適な高度拡散炉です。モジュラー設計、高スループット、正確な温度制御、厳格な安全装置など、さまざまな機能を備えています。15100-300のモジュール設計は容易なカスタマイズおよび柔軟性を可能にします。組み込みのポートアクセスポイントを使用して素早くアクセスおよびメンテナンスでき、さまざまな交換可能な部品を使用すると、ユーザーはニーズに合わせてカスタマイズできます。広いチャンバーエリアと広い温度範囲はまた、アプリケーションの印象的な範囲を可能にします。15100-300は高精度で高いスループットを提供するように設計されています。精密な温度調整システムは、高度なサーマルセンサーを使用して温度を監視し、バッチからバッチへの蒸着の一貫性を確保します。炉はまた、高速アニール時間を提供するために高出力ヒーターで構築されており、プロセス時間を最小限に抑えて高い歩留まりを保証します。15100-300はまた、異常を感知した場合に炉素子への電源を自動的に遮断する堅牢な安全ユニットを備えています。チャンバーや排気ポートのトリプルレイヤープロテクション、異常圧力平衡時にトリガーする圧力制限スイッチなどの安全機能を搭載しています。全体として、PST DO-FF-HTO 15100-300は、幅広い用途に適した信頼性と汎用性の高い拡散炉です。モジュール設計、高スループット、正確な温度制御、厳格な安全機械により、高温薄膜およびポリシリコン蒸着アプリケーションに最適です。