中古 ASIA NEO TECH NCO+IR-0870C #293643808 を販売中
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ASIA NEO TECH NCO+IR-0870Cは、原子層処理に特化した高仕様の拡散炉&アクセサリーです。1000°Cの温度まで処理するアニーリング、酸化および酸化抵抗の広い範囲が可能です。NCO-IR(近接型赤外線ヒーター付き酸化炉)を搭載しており、制御された窒素大気中の急速な加熱・冷却を可能にし、大気干渉によるサンプル間の変化が少ない原子層レベルでの酸化を正確に行うことができます。ステンレス製のチャンバーには、開閉可能なトップカバーが装備されており、サンプルの変更や測定を迅速に行うことができます。さらに、NCO+IR-0870Cは、拡散プロセスのために内部チャンバの内部を独占的に制御する特別なダブルチャンバー設計を採用しています。部屋はまた絶縁材の効果を提供するだけでなく、また抵抗暖房からの大気そして熱放射からサンプルを保護する水晶部屋の帽子が装備されています。発熱体自体は、ACとDCの電流動作を切り替えることができます。チャンバー自体には、いくつかの安全機能と過熱保護が装備されています。また、NCO+IR-0870C拡散炉とアクセサリは、自動ウェハ転送システムとの互換性を考慮して設計されています。加熱された石英チャンバとローディングアーム、およびサンプルチャンバーは、自動ウェーハ転送およびローディングシステムと容易に統合できるように設計されており、処理の正確な再現性を実現しています。拡散炉の精度と再現性は、チャンバーの雰囲気と温度を慎重に制御することに依存します。NCO+IR-0870Cは堅牢な制御部品を使用しており、設定温度の3°C以内の大気の正確かつ再現可能な加熱、室温から1000°Cまでの幅広い設定での温度安定化とレギュレーションを可能にします。NCO+IR-0870Cは、信頼性の高い正確な原子層処理のために設計されており、複雑で精密な材料の組み合わせの研究および製造に最適です。精密で反復可能な加熱と優れた酸素制御の組み合わせにより、比類のない精度で材料を製造するための不可欠なツールとなります。
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