中古 AMTECH / TEMPRESS TS61004 4 #293610337 を販売中

AMTECH / TEMPRESS TS61004 4
ID: 293610337
LP-CVD System.
AMTECH/TEMPRESS TS61004 4は、さまざまな半導体アプリケーションで使用される拡散炉です。金属、誘電体、セラミックス、複合材料、合金など幅広い材料を熱処理および拡散するために使用されます。この炉は、内部CF4/S水素雰囲気を持つ垂直グラファイト壁の容器を備えています。この炉は300°C〜1200°Cの温度に達することができ、急速な熱処理が可能です。炉底にあるモリブデン発熱体を用いた強制対流を利用した熱分布システムで、容器の壁にグラファイト素子を配しています。この設計により、サンプル全体で均一で反復可能な温度プロファイルが保証されます。また、加熱素子は、拡散プロセス中のサンプルの酸化と歪みを低減するように設計されています。AMTECH TS61004 4には、1°Cまでの正確で反復可能な温度測定を可能にする温度コントローラが装備されています。また、温度の上昇や低気圧などの危険をユーザーに知らせるための温度警報システムも備えています。これは十分な警告をユーザーに提供し、必要に応じて拡散プロセスを調整することができます。また、クールダウンバルブを装備しているため、迅速かつ安全に冷却することができます。冷却バルブと強制対流システムの組み合わせにより、高速クールダウンプロセスが保証されます。TEMPRESS TS61004 4拡散炉には、プロセス中の正確性と安全性を確保するためのアクセサリーやツールも含まれています。これらには、処理中のサンプルが安全で安定していることを保証するためのサンプルホルダーと、容器内の圧力を安全な動作パラメータ内に維持するための圧力モニタが含まれます。要約すると、TS61004 4は高品質の結果を生み出す信頼性が高く、反復可能で効率的な拡散炉です。付加的な機能、付属品および用具の範囲によって、それは最低の危険および最高の精密の安全で、正確な拡散プロセスを可能にします。
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