中古 DATACON / BESI DS 11000 #9240933 を販売中

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ID: 9240933
Die sorter Power cord without plug included Tape frame / Hoop ring Dicing tape head With servo amplifier Input table for wafer, 6" With motorized rotation and wafer expansion Furnace: Double layer steel case With (2) cooling fans Low surface temperature Fibrous alumina liner and insulation AI2O3 Coating Wafer: Table tooling Stage camera and optics Frame barcode reader Cassette elevator and loader Digital vacuum detection Product specific tools: (5) Needles and vacuum anvil assemblies (5) Pairs of vacuum pickup tool Adaptive map correlation Pick & place: 11000 UPH Placement accuracy: ±37μ @ 3s Sort up to (37) Bins with single cassette / (148) Bins with multi cassette Wafers up to input & output, 8" LED Size: 0.2 mm - 1 mm Servo Z motors for independant pick and place motion Digital vacuum detection Air ionizer mounted over the input table Vision system for wafer alignment Die pick Die placement and inspection Wafer cassette elevator and loader Wafer frame barcode reader Wafer stage camera and optics Wafer table tooling for one size wafer frame Output: Film frame elevator and loader Table camera and optics Frame barcode reader Internet network interface: TCP / IP Electronic map import Operating system: Windows XP With PC controller Temperature range: 100°C~1100°C (Continuous) 1200°C (<1 Hour) Heating rate: ≤ 20°C /min Temperature accuracy: ±1°C Heating element: FeCrAl Alloy doped by Mo Heating zone length: (2) Zones, 8" (200 mm) Total heating zone length: 16" (400 mm) Tube accessories: Fused QUARTZ tube: 1000 mm L (2) Fibrous ceramic tube blocks Power: 3 KW (20 A Breaker) Power supply: AC 208-240 V, Single Phase, 50/60 Hz.
DATACON/BESI DS 11000は、ガラス、シリコン、フレキシブル回路など、さまざまな形態の基板に半導体サイコロを取り付ける際の正確な精度と再現性を保証するダイアタッチャーです。この装置は繊細なプロセスステップ用に設計されており、28 mm x 28 mmまでのさまざまなダイサイズに対応できます。ダイアタッチプロセスはピックアンドプレイスヘッドで行われ、ダイを結合するための熱源は、ヘッドに取り付けられた統合ヒータープレートによって提供されます。このシステムは、高速スループットを確保するために複数の分注プログラムを同時に実行できる高度なモーションコントロールユニットを備え、大規模な生産プロセスに最適化されています。デジタルアンプとラミナギャップ制御技術は、正確な配置と再現可能な結果を確保するのに役立ちますが、微調整とリアルタイム監視機能により、ダイサイズとアプリケーションの完全なマッチングが可能です。BESI DS 11000には特許取得済みの真空ヘッドが搭載されており、取り付け前後のダイを検査するための統合レーザービジョンマシンとともに、ダイの安全なグリップを保証します。統合されたサーフェスマッピングツールは、平坦で均一なダイアタッチを保証し、フォース変位モニタはプロセスを検証します。また、シングルパス真空および高精度熱電対計測機能を備えており、正確な加熱制御を保証します。DATACON DS 11000は、BESI生産ラインの一部であり、完全自動化されたダイソーターとウェーハハンドラを備えています。Building Block Technologyを使用すると、複数の機器モジュールと簡単に統合でき、セットアップ時間とプロセスのストレスを軽減できます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスは、モデルを使いやすく維持しやすく、メンテナンス要件が低いため、非常に費用対効果が高くなります。DS 11000は、精度と信頼性を必要とする量産アプリケーションに最適なソリューションです。
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