中古 XAOT HDT-100 #9073534 を販売中
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XAOT HDT-100は、高精度のウェーハや基板を製造するための制御環境を提供する水晶成長、切削、スライス装置です。サファイアやシリコンなど多くの材料の蒸着を発酵・制御することができます。システムの主なコンポーネントは、成長容器、炉、鋸室、洗浄室です。成長する容器は、容器やタンクのように見える自己完結型のユニットです。内部には、温度センサーと安全な操作のための酸素漏れ検出器が装備されています。この容器は特定の結晶を育てるために部屋に基質を沈殿させるのに炉と使用されます。成長容器には成長制御装置も内蔵されており、成長条件を調整して目的の結晶タイプを達成することができます。この炉は通常、結晶成長に必要なエネルギーを供給するために使用されます。それは調節可能な部屋圧力と1500°Cまで温度調整することができます。また、基板をエッチングし、成長容器を加熱し、他の重要な機能を実行するために使用することができます。成長した結晶を半導体加工のための薄いスライスに切断するために使用されます。コンピュータによって制御された3つのレーザービームと、カットをリアルタイムで監視するCCDカメラが含まれています。このチャンバーは、サファイアなどの脆い材料の研削やフィルムの研磨にも使用できます。最後に、HDT-100のクリーニングチャンバーは、化学蒸着(CVD)モジュールとオゾンクリーニングモジュールで構成されています。CVDモジュールは、結晶材料に均一な表面を作成するために使用され、不純物を取り除き、さらなる処理に最適です。オゾンクリーニングモジュールは、水晶表面から鉱物などの汚染物質を除去し、プロセスの次のステップの準備ができています。全体として、XAOT HDT-100結晶成長、ソーイング、スライシングマシンは、高品質の基板とウェーハを精密に製造するための高度で効果的なオールインワンソリューションです。沈着から洗浄までのプロセス全体を優れた制御を提供し、優れた品質の結晶を生産する必要がある人にとって理想的なツールです。
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