中古 TAKATORI MWS 610 #9302346 を販売中

TAKATORI MWS 610は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）製造のニーズに応えるために設計された、成長する水晶、切削、スライス装置です。これは、GaN、 Si、 SiGe、サファイアなどの複数の種類の材料を簡単に処理できる多目的ソリューションです。システムは4つの部品から成っています：主要な単位の部品、基質の前処理の部品、結晶化の部品、スライスの部品およびサポート部品。主な機械部品は、ドライエッチングチャンバー、炉制御ツール、ウェーハ加工チャンバで構成されています。基板前処理成分は、結晶化前の基板材料の洗浄および前処理に使用されます。これは、洗浄、ケミカルエッチング、表面の接着性の向上などを含むことができます。結晶化成分は単結晶を成長させるための炉で構成されています。この炉は高い均等性のために設計され、急速な温度転移を可能にします。スライス部品は、より大きな単結晶材料からウェーハを切断するために使用されます。これは手動または完全に自動化されたアプローチで行うことができます。最後に、サポートコンポーネントには検査および実装システムが含まれます。資産には多くの利点があります。高い精度と再現性を備えており、毎回一貫した結果を得ることができます。また、15分以内に結晶化および切削加工が可能な高速です。また、コスト効率が高く、運用に必要な人員が少なくなります。これは非常に堅牢で、毎秒1900回まで振動に耐えることができます。最後に、温度と圧力を監視するためのセンサーが内蔵されているため、信頼性が高く安全です。結論として、TAKATORI MWS-610はMEMS生産のための効果的かつ効率的なソリューションです。スピード、精度、信頼性を提供し、あらゆるMEMSメーカーに適したオプションです。