中古 STC L155 #9131582 を販売中
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ID: 9131582
ウェーハサイズ: 22"
Saw, 22"
Power supply:
235 / 208 V, 20 A, Single Phase
440 V, 3-Phase.
STC L155は光学活性材料の処理のための完全な解決を提供するために切ることの技術の精密そして多様性と明確な光学等級の結晶の成長の力を結合する革新的な水晶成長、切削およびスライス装置です。このシステムは、L155シリーズの2軸設計に基づいており、2つのレーザー、スライスと切断のためのCO2レーザー、および結晶成長のためのアルゴンレーザーを利用しています。このユニットには、成長チャンバー、ダイヤモンドワイヤーソーイングユニット、クリスタルカッティングユニットの3つの中央プロセスチャンバーが装備されています。成長チャンバーは、ガリウムヒ素(GaAs)、シリコン(Si)、リン化インジウム(InP)などのさまざまな材料からの光学グレードの結晶成長の制御と最適化のために設計されています。このチャンバーには、リアルタイム成長速度調整用の両面加熱機、水晶品質モニタリング用のセンサーが装備されており、成長状態を最適に制御するためのプロセス制御コンピュータにさらに接続することができます。ダイヤモンドワイヤーソーイングユニットは、成長する結晶上のダイヤモンドワイヤーの迅速かつ正確なスクライビングのために作られています。レーザスクライビングツールは、0。05 µmに正確な高精度の電気マイクロメータドライブを介して駆動されます。このユニットには、ワイヤテンションと正確なモーションコントロールを正確に制御するためのダイヤモンドワイヤテンショナーと減速機ユニットも含まれています。結晶切断ユニットは、結晶の正確なスライスと切断のために設計されています。自動レーザー誘導制御アセットとコンピュータ制御ロボットアームを搭載し、結晶片を正確に操作します。スライス、切断、ラッピング、研磨作業に使用できます。さらに、装置には2つの小さなプロセスチャンバーが装備されています。そのうちの1つには、成長後のアニーリングと結晶下部チューニング用の高温炉があります。第二のチャンバーは、結晶平面化に使用することができる低温化学エッチングチャンバーです。全体的に、STC L155結晶成長、ソーイング、スライシングシステムは、光学活性材料の処理のための汎用性と精密なユニットです。複軸設計、高度なプロセスチャンバー、統合されたコンピューター制御システムにより、このマシンは光学活性結晶片の製造に理想的なソリューションです。
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