中古 SHOWA SHINKU SFE-6130C #9053771 を販売中
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販売された
ID: 9053771
Ion gun system
Batch type
Capability: 180 pcs/tray (230 pcs/max)
Style of a jig: Tray (X-Y table)
Frequency range: 10-200MHz
Measurement: HP-E5100B
Machine tact: 6 sec/pce (2 step M.L.)
Accuracy: ±5ppm (2 steps H.L.); ±2ppm (3 steps H.M.L.)
Ion-Gun: Hot-Cathode type
NOS. of Ion-Gun: 1 set
Beam power supply: 1200V/50mA
Gain phase analyzer: HP-E5100B
Computer: DOS/V
Contact: π-Circuit
Chamber: Stainless
Dimension: 545(W)×580(D)×148(H)㎜
Penning gauge: PR25
Pirany gauge: TR211
Rotary pump: VD401
CRYO-pump: CRYO-08H
Power supply (3φ): 200/220, 7kva
Filament power :10V/12A
Discharge power: 35V/2A
Compressed air: 0.5-0.7Mpa
N2 gas: 0.1MPa
Cooled water: 0.2MPa
Ar gas: 0.2MPa.
SHOWA SHINKU SFE-6130Cは、精密な技術間用途と特殊プロセス用に設計された、クリスタル成長、ソーイング&スライス装置です。これは、高精度で再現性のあるすべてのプロセスを完了する完全に自動化されたシステムです。このユニットは、高効率な半導体製造のための単結晶基板を成長させることができます。この機械には、高出力の発熱体、専用ソフトウェア、窒素ベースの大気制御ツールが含まれています。結晶成長に適した不活性環境を維持することができます。高速のオールデジタルサーボモータを搭載し、多軸および温度制御を正確に調整します。また、顕微鏡が付属しており、ユーザーはリアルタイムでプロセスをリモートで監視することができます。さらに、この資産には成長プロセスの詳細な監視を可能にするCCDカメラが付属しています。これは、プロセス全体が意図されたように進行していることを保証するのに役立ちます。従来の単結晶基板に比べ、再現性に優れています。また、ソーやスライス機能も自動化されています。ユニークで耐久性のあるダイヤモンドソーブレードで、優れたシャープネスと精度を提供します。統合された真空システムにより、円筒形の廃棄物を直接収集できます。調節可能な送り速度は、一度に複数のサンプルを迅速かつ正確に切断することができます。これらの切断プロセスは完全に自動化され、人為的ミスを排除し、一貫した切断を保証します。SFE-6130Cは、幅広い単結晶および多結晶材料をサポートしています。これにより、幅広いエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、バイオメディカル機器の精密部品の製造に最適です。堅牢な安全ユニットで構成され、作業員の最高の安全性を確保しています。SHOWA SHINKU SFE-6130Cは、一般的に、高精度で再現性のある信頼性の高い自動化された結晶成長、ソーイング&スライシングマシンです。最新のインターテクノロジーアプリケーションの洗練されたニーズに適しています。これは、ユーザーが成長し、再現可能な精度と高効率で美しく有利な結晶基板を作成することができます。
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