中古 PHOTOMEC CZ / PTM #293645801 を販売中
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ID: 293645801
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2017
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2017 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTMは、精密結晶成長、縫製、スライス作業用に設計された3軸装置です。このシステムは、温度と湿度を制御した大気を持つ専用の結晶増殖チャンバーを備えており、宇宙ステーションの無重力環境で大きな結晶を成長させることができます。また、高度なソーイングとスライス機能を備えており、クリスタルを切断し、必要な正確な形状とサイズに加工することができます。結晶増殖室は、シールドされた壁とダブルエアロックドアに囲まれているため、アクセスが困難です。これは、結晶の正しい形状を維持するために慎重に設計されたホルダーが含まれており、均一な熱プロファイルを使用しています。チャンバーの大気と温度は精密に制御され、大きな、均一で欠陥のない結晶の成長を保証します。この混合窓は、窒素、酸素、ヘリウムの大気とドーパントガスを正確かつ正確に混合することを可能にします。熱伝導率を高め、温度変動率を低減するモリブデンサセプターをチャンバー内に配置します。サセプターは精密なサーマルコントローラと結合され、チャンバー内の温度を均一な結晶核と成長のための正確な要件に調整します。切断とスライスは、正確なX、 Y、 Z軸の動きによって達成されます。アームには回転ダイヤモンドソーブレードが取り付けられ、強力なフォーカシングレンズと調整可能なミラーがビームを形成します。微細なピッチリードスクリューを追加することで、正確なミクロンレベルのノコギリ追跡が可能になります。ソーにはレーザービームガイドマシン、4ジョーチャックホルダー、スライス工程で放出されるすべての粒子をキャプチャして含む真空ツールも装備されています。アセットの精度は、従来の技術に比類のない精度、作物の歩留まり、スピードで大きな結晶や切削/スライスの成長を可能にします。それはあらゆる適用に良質および均一水晶を提供するように設計されている耐久および信頼できるモデルです。CZ/PTMは、低重力アプリケーションでの大型、均一、欠陥のない結晶の切断、裁断、スライシングに最適なツールです。
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