中古 PHOTOMEC CZ / PTM #293645791 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293645791
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2016 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTM結晶成長、ソーイング、スライス装置は、結晶の成長、スライス、およびソーイングのための高度なソリューションの最先端の生産ラインです。このシステムは、シリコンやヒ素ガリウムなどの異なる半導体や誘電体の高品質な結晶の成長を可能にします。これにより、次世代の電子部品やデバイスの需要の変化に対応するための水晶サイズと寸法が可能になります。CZ/PTMのセットアップには、2つの独立したモジュールが連携しています。結晶成長モジュールは、垂直および水平輸送シールドコクラルスキー(TSCz)マルチシードおよび高解像度ブリッジマン炉、ならびに結晶成長に使用される勾配炉をサポートしています。また、ロータリーシール、石英、るつぼリフター、サンプルホルダー、クリスタルハンドリングツールなどのさまざまな付属品も含まれており、結晶を急速で信頼性が高く費用対効果の高い方法で成長させるための最良の条件を提供します。クリスタルスライシングとソーイングモジュールは、さまざまな厚さとサイズのウェーハを製造するために使用される最先端のユニットです。ハイクラスの化学機械研磨(CMP)ユニット、トップオブラインのシングルサイドベルトソー、追加ツールが含まれています。ベルトソーは、平行性、均一な表面、および最小欠陥を持つウェーハを生成します。CMPユニットは、あらゆるウェーハ上で非常に正確な平坦性と丸みを保証し、並列性エラーを低減します。PHOTOMEC CZ/PTMマシンの2つのモジュールは、成長チャンバからスライシングおよびソーイングステーションへの結晶のシームレスな転送を可能にする単一のフレームワークに統合されています。さらに、このツールは、非常に一貫した結晶やウェーハを大量に生産することができます。このアセットには、光学計測ソフトウェア、粒子分析、および3D測定で構成される全範囲の品質管理モジュールも含まれており、すべての結果がプロセス全体で一貫していることを保証します。最後に、CZ/PTMモデルは高度にカスタマイズ可能であり、顧客の特定のニーズに適応できることも注目に値します。また、予防メンテナンスツールとセンサーのスイートが装備されており、機器は途切れることなく動作し、メンテナンスコストを削減できます。
まだレビューはありません