中古 PHOTOMEC CZ / PTM #293645788 を販売中

ID: 293645788
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8" Furnace chamber, Φ24" Seed stroke: 3000 mm 2016 vintage.
PTM(またはPHOTOMEC CZ)は、単結晶材料の追加処理用に設計された自動結晶成長、ソーイング、スライス装置です。PTMシステムは、反応容器、冷凍ユニット、プロセスコントローラ、およびプロセスのすべてのファセットを制御するためのオートメーションパッケージで構成されています。名前が示すように、PTMシステムは大きく3つのセクションに分かれています。ユニットの成長成分は、単結晶の成長のための最適な環境条件を提供することに焦点を当てています。実験は、炉に類似した温度と圧力制御された反応容器で行われます。さらに、冷却速度、ランプレート、時間などの追加パラメータを調整して結晶の移動に影響を与えることができます。これらのパラメータはすべて、自動化されたマシンによって専門的に制御されます。ソーイングコンポーネントは、成長した結晶を特定のサイズに形成するために使用されます。個々の部分を見るのに使用されるプロセスはダイヤモンドワイヤーソーイングです。それは高張力ダイヤモンドによって埋め込まれるワイヤーで構成され、きちんと育った単結晶を薄いスライスに非常に切ることができます。スライシングコンポーネントは、以前に切断されたウェーハから薄い箔を生成するためのさらなる操作です。PTMツールは、最高のスライス機能を提供するために、ハイブリッドスライスとサイコロ資産で設計されています。Airfoilsおよび機械刃は両方協力し、適用のための特定の薄膜の必要性に従って調節することができます。3つの部品を組み合わせることで、高品質な単結晶材料を幅広い用途で生産することができます。PTMシステムは、MEMS、 GaN、 SiC基板、光フィルターなどの加工分野で半導体業界で広く使用されています。単結晶材料が応用されている他の分野には、エネルギー貯蔵、ディスプレイ技術、レーザー技術があります。要約すると、PTM (PHOTOMEC CZ)は単結晶材料の成長、ソーイング、スライスのための堅牢なオートメーションモデルです。これらのすべてのコンポーネントを同時に利用することで、PTMはユーザーに最高品質の、最も均一な単結晶材料を提供します。
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