中古 NTC / KOMATSU PV500FD #9316449 を販売中
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NTC/KOMATSU PV500FDは、半導体製造の優れた性能を実現するために設計された、完全自動単結晶の成長、ソーイング、スライス装置です。多機能な設計により、ダイヤモンドソーブレードによる単結晶ウェーハの高速かつ正確な切断が可能です。NTC PV500FDは、ガス駆動コアを使用して、結晶成長基板の高さと直径を正確に確認します。この特徴は最も大きい予測可能性の最高の水晶成長の歩留まりを保障します。システムの温度制御は、結晶成長プロセスを安定させるためにコア温度を常に監視および調整するように設計されています。成長過程を通じて、酸素はコアに導入され、結晶化プロセスの触媒として機能します。この技術の進歩は、結晶の歩留まり、効率、均一性の向上につながります。KOMATSU PV500FDはシングルアームシリアルソーイングユニットを採用しており、ストレートまたはロータリーパターンで見られるようにプログラムすることができます。最も半透明な単結晶ウエハーの精度と品質を確保するために、ノコギリを濾過し固定します。結晶が成長した後、機械は結晶プレートをスライスするために使用することができます。これは、高精度の光干渉計を使用して達成されます。これにより、基板を変形させずに最大0。8mmの厚い基板を切断することができます。結晶生産の品質を確保するために、PV500FDはプロセスの不規則性を自動的に検出できるプロセス監視ツールを利用しています。これは、最高品質の結晶を維持し、全体的な成長効率を最適化するのに役立ちます。NTC/KOMATSU PV500FDは、結晶成長、ソーイング、スライスの分野における革命です。結晶成長環境の正確な制御、革新的なプロセスモニタリング資産、および高精度のソーイングモデルにより、半導体製造にとって貴重なツールとなっています。
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