中古 MEYER BURGER TS 23 #9409189 を販売中

MEYER BURGER TS 23は、特に高度な3インチおよび4インチのウェーハ生産用に設計された自動結晶成長、ソーイング、スライス装置です。このシステムは、電気化学的結晶成長、ソーイング、スライス技術の最適化された組み合わせで構成されています。MEYER BURGER TS23電気化学的結晶増殖ユニットは、GaNや関連化合物を含む幅広い開始材料を使用して高度な多結晶インゴットを生成することができます。成長チャンバは、最適な成長性能を得るために、均一な温度制御と低熱勾配を提供するように特別に設計されています。この機械には、電気化学プロセスを正確に制御するための高度なプロセス監視システムも装備されています。このツールには、3インチおよび4インチのウェーハ生産に最適化された高度なX-Ray偏向ソーイングユニットが装備されています。ソーイングユニットは、最小限の消費電力と最大生産性で滑らかなノコギリ切断を提供するように設計されています。さらに、このアセットには複数指のピックアンドプレイスオートメーションモデルが装備されており、縫う前にウェーハを正確に配置して整列させることができます。TS-23はさらに、ウェーハの正確な断面切断を可能にするスライス装置を装備しています。これには、ウェーハの欠陥を最小限に抑える特許取得済みの回転スライス技術が含まれます。さらに、高度なレーザースキャン顕微鏡を搭載し、カットウエハを精密に検査します。要するに、TS23は3インチおよび4インチの多結晶性インゴットの精密な処理を可能にする完全に自動化された単位です。このマシンには、高度なプロセスモニタリングツールとスライス技術が十分に装備されており、結晶成長プロセスとスライシングプロセスのパフォーマンスと歩留まりを最適化します。さらに、このツールは、最小エネルギー消費量と最大生産性で最大のスループットを提供するように設計されています。