中古 MEYER BURGER TS 23 #9019703 を販売中

MEYER BURGER TS 23は、高品質の単結晶シリコンウェーハの生産を支援するために設計された水晶成長、ソーイング、スライス装置です。最先端の技術を組み合わせ、高精度で効率的な単結晶ウェーハを製造しています。MEYER BURGER TS23は直径23cmまでの結晶を育てることができます。このシステムは、最適な結晶成長プロセスを使用して、最適な特性と非常に低い欠陥率を持つ単結晶シリコンウェーハを作成します。ユニットは、単結晶コアトランス、ウェーハ製造用の2つの直交炉、冷却機、液体金属蒸着装置で構成されています。コアトランスは、望ましい直径で単結晶シリコン棒を成長させるように設計されています。このツールには、コアトランスの均一な温度を確保するために設計された冷却アセットが含まれています。炉は、コアを平らなシリコンウェーハに変換するために使用されます。このプロセスには、シリコンロッドを非常に薄いスライスにスライスする高精度の切削工具と、ウェーハを正確な位置に移動する真空搬送モデルが含まれます。液体金属蒸着装置は、ウェーハの電気特性を高めるために、シリコンウェーハの表面に金属層を堆積させることができます。TS-23装置により、マイクロディフェクトの低減とシルエットと奥行きの向上により、直径23cmの単結晶シリコンウエハを確実に作成できます。