中古 MEYER BURGER TS 116 #160564 を販売中

MEYER BURGER TS 116は、シングルクリスタルインゴットから薄いウェーハを切断するために設計された最先端の自動化されたクリスタルの成長とソーイング/スライシング装置です。フットプリントが小さく、幅広い材料に対応しながら、最大直径6インチのウェーハを効率的に生産できます。自動結晶成長ユニットには、シングルゲートバルブを備えたマルチエレメント炉が装備されており、さまざまな材料システムで効率的な結晶成長を可能にします。この機械は単結晶の成長だけでなく、多結晶の成長、ならびに焼戻しおよび溶解プロセスが可能です。ユーザーフレンドリーなツールには、統合安全システム、PID制御、真空互換性、および低ノイズ動作も含まれています。アセットのソーイング/スライスステージは、1つのインゴットからさまざまな種類の薄いウェーハを切断することができます。材料廃棄物を最小限に抑え、最新の製材技術を用いて高収率の高精度の薄型ウエハを製造しています。6軸制御装置とソーイングユニットにより、ウェーハの切断精度とスライス精度が向上します。このシステムは、パラメータメモリ、統合されたプロセス制御および監視、および簡単なトラブルシューティングのためのヘルプルームなどの更新されたユーザビリティ機能も提供します。さらに、TS 116は、リアルタイムのプロセス監視とデータロギングによるインダストリー4。0接続を提供します。統合された計量ユニットは、ウェッジ状の材料の自動原料のローディングとアンロードを可能にします。さらに、プロセス間材料転写はバッファスライドテーブルを介して提供され、結晶成長とウェーハソーイング/スライシング段階間の材料の迅速かつ効率的な転送を可能にします。全体的に、MEYER BURGER TS 116は、高度で効率的な結晶成長とソーイング/スライシングマシンであり、優れたユーザビリティ機能と、工業生産に適した信頼性の高い安全な操作を組み合わせています。TS 116は、材料廃棄物を最小限に抑えた高品質の薄型ウエハーを製造することができるため、最先端の結晶成長および切削/スライシング用途に最適です。