中古 MEYER BURGER DW 288 #293645366 を販売中
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MEYER BURGER DW 288は、InP、 GaAs、 GaN、 SiC、 SiGe、 SiSliceなどの幅広い半導体材料で動作するように設計された最先端の結晶成長、ソーイングおよびスライス装置です。DW 288は、世界で最も先進的な半導体部品を製造するシステムの1つです。このユニットは、最大300mmのウエハに対応できるコンパクトな設計を提供し、個々の生産要件に合わせてカスタマイズすることができます。0-10mmのプロセスウィンドウと-20°C〜400°Cの温度範囲を備えた高効率機です。このツールには、内蔵の熱流束センサーを備えたデジタル炉と、精密な成長とスライスを保証する可動ステージが装備されています。成長プロセスは、適切な成長材料の選択とブロックの形でのその準備から始まります。ブロックは、プラットフォーム上にロードされ、結晶成長プロセスを起こす一連の熱サイクルにさらされます。この間、温度およびその他のプロセスパラメータは常に監視され、プロセスが予想どおりに進行していることを確認します。成長プロセスが完了すると、結晶はソーイングとスライスの対象となります。ダイヤモンドブレードを使用して、クリスタルをさまざまなサイズに正確にカットします。これは、所望の結果を達成するために正確な温度と圧力制御を必要とするプロセスです。MEYER BURGER DW 288は、プロセスパラメータの高度な制御を提供し、さまざまな材料とサイズで作業することができます。最後に、クリスタルが所望の形状とサイズにカットされたら、それらが検査されます。この資産には、最高品質の結果を保証するための自動検査装置が装備されています。DW 288は最高水準を満たすように造られ、高い信頼性の優秀な性能を提供します。結晶の成長とスライスに関しては、可能な限り最良の結果を提供するように設計されています。
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