中古 MEYER BURGER DW 288 #293645365 を販売中

MEYER BURGER DW 288は、高い精度で結晶成長、ソーイング、スライス操作を行うように設計された先進的な半導体製造装置です。このシステムは、50mm以下の精密グレードの形状ウエハとダイを形成するための統合ソリューションを提供します。DW 288は3つの主要な部品から成っています。1つ目のコンポーネントは、CVD源、in-Si源、アニーリング炉を備えた単結晶シリコン（Si）材料の範囲を提供する結晶成長ユニットです。in-situソースは、直径4センチメートル、厚さ1ミリメートルまでの30度のSi結晶の成長を可能にします。CVDソースを使用すると、従来の方法よりも最大10倍の速度でSi成膜が可能になります。この結晶成長は、その光学顕微鏡を使用してリアルタイムで監視されます。2番目のコンポーネントは、Siレイヤーを別々のダイに分割するために使用される自動ワイヤーソーを含むソーイングマシンです。スチールクラッドダイヤモンドワイヤーは、振動または回転スプールから供給されます。手動モードまたは自動モードで動作し、所定の座標に沿って正確に切断できます。3番目のコンポーネントはスライスツールで、ウェーハをさまざまな形状とサイズにスライスすることができる特別に設計された回転ブレードを使用しています。このアセットには、カットウェーハの厚さを0。01ミリメートルまで測定するために校正されたデジタルスケールも装備されています。刃は望ましい厚さを達成するのを助けるために左右方向で回すことができます。MEYER BURGER DW 288モデルは、高速かつ正確な切断、高精度、および最小の熱変形などの多くの利点を提供します。また、安全な動作を保証するいくつかの安全機能が装備されています。この装置は、高出力、マイクロ波、およびマイクロ電気機械システムを含むさまざまなタイプの集積回路を作成するために使用できます。