中古 MEYER BURGER DW 288 S6 #9395156 を販売中

MEYER BURGER DW 288 S6
ID: 9395156
ヴィンテージ: 2015
Wire saw WM2 (2) Cutting fluid tanks with panel Wire guide rolls Web length: 650 mm Maximum workpiece: 6.5" Axis distance: 390 mm Wire speed: 30 m/sec Wire acceleration: 10 m/s² Minimum wire diameter: 100 μm Maximum wire tension: 45N Rocking angle: ±12 Cutting fluid tank: 240 Does not include rocking unit 2015 vintage.
MEYER BURGER DW 288 S6 Crystal Growing、 Sawing&Slicing Equipmentは、シングルクリスタルウェーハの効率的な生産のために特別に設計された高度で完全に自動化されたシステムです。DW 288 S6は、水晶成長オーブン、ソーイングステーション、スライス/ポリッシュステーションの3つの主要コンポーネントで構成されています。結晶成長オーブンは、溶融から単結晶の収量を増加させる温度勾配技術を採用しています。精密な温度制御と均一性、高真空能力、そして幅広い種類のるつぼや基板を受け入れる能力を備えています。ソーイングステーションには、シリコンやその他の単結晶基板などの硬い材料を正確に切断するように特別に設計された高周波モータが装備されています。切断は真空環境で行われ、プロセス中の熱損傷を防ぎます。ステーションには高精度の単結晶ダイヤモンドブレードが装備されており、スライスのサイズと形状をお客様の要件に合わせて調整することができます。スライス/ポリッシュステーションは、材料に損傷を与えることなく、高品質で単一の均一なスライスを生成するように特別に設計されています。このステーションには、両側にスライスした基板を磨く手動ホイールが装備されているため、欠陥を低減し、基板の寿命を延ばすことができます。また、スライス表面の自動チェックを行い、オペレータに正確なリアルタイムフィードバックを提供する自動表面検査ユニットが含まれています。MEYER BURGER DW 288 S6クリスタルの成長、ソーイング、スライシングマシンは、単一のクリスタルウェーハを製造するための完全で効率的なソリューションを提供します。このツールは、マイクロエレクトロニクス、テレコミュニケーション、レーザー、光学、オプトエレクトロニクスなどの産業用途に最適で、結晶成長やスライスの専門家にも使用できます。
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