中古 MEYER BURGER DW 288 S4-01 #293627269 を販売中

ID: 293627269
ヴィンテージ: 2017
Wire saw 2017 vintage.
MEYER BURGER DW 288 S4-01は、MEYER BURGER TECHNOLOGY LTD。が開発した、大口径、高品質のシリコンウェーハの製造に適した先進的な結晶成長、ソーイング、スライシング装置です。このシステムには、変更されたCzochralski (mCz)法による単結晶溶解からの結晶の成長を可能にする特別な成長チャンバーが含まれています。チャンバーは、温度、圧力、および塩素ドーピングレベルを制御するために、不活性ガスで加圧および調整されます。また、ウェーハを均一な厚さと幅のディスクに自動的にカットするように設計された洗練されたソーイングマシンを備えています。ソーイングマシンにはダイヤモンドブレードが装備されており、水晶材料の超精密な切断を提供しています。ダイヤモンドブレードは、サーボ駆動のベルト駆動機構を使用した回転テーブルに取り付けられ、制御されたコンピューター制御のソーイングに使用されます。また、切断前のウェーハ検査用のCCDカメラを搭載しています。さらに、ウェーハの精密なスライスのための多軸、プログラム可能なスライス機が装備されています。このスライスマシンは、3軸サーボ駆動の高精度メカニズムを採用し、ウェーハのスライスまでも正確に維持できるように設計されています。スライシングマシンは、レーザー誘導モーションツールを備えており、自動温度制御を含む省電力機能を提供します。最後に、DW 288 S4-01は、統合された安全システムを備えた信頼性の高い安全な作業環境を提供します。自動化されたプロセス制御、圧力および温度センサー、および防火システムなどの安全機能が資産に含まれており、最適な安全性を確保しています。さらに、このモデルはエネルギー効率が良いように設計されており、生産プロセスを最適化するためにリアルタイムで操作することができます。結論として、MEYER BURGER DW 288 S4-01は、大口径、高品質のシリコンウェーハを成長させ、切断するための高度で信頼性の高い機器です。システムの成長室、ソーイングマシン、スライシングマシンはすべて最新の技術と安全システムを備えており、正確で効率的で安全な生産プロセスを可能にします。
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