中古 MEYER BURGER DW 288 P6 #9228788 を販売中

MEYER BURGER DW 288 P6は、半導体業界で電子部品用の様々なウェーハの製造に使用される水晶成長、ソーイング、スライス装置です。このシステムは、単一の結晶基材を合成して成長させるために、チャネル化された成長ユニット（CCD）を使用します。その後、CCDを使用して、クリスタルを所定の厚さの単結晶ウェーハにスライスします。ユニットは、CCDが配置されている特殊なチャンバーを使用します。チャンバーでは、専用フィーダーから単結晶ウェーハを供給します。その後、フィーダは、2つの大規模なDC電源で駆動されるCCDに単結晶ウェーハを配置します。電源は、CCDの運転に必要なエネルギーを供給するために使用されます。成長段階では、単結晶ウェーハは、クリスタルウェーハを所定の温度に急速かつ正確に加熱する専用炉に配置されています。その後、炉は水晶ウェーハをゆっくり冷却し、温度やその他の成長パラメータを監視して調整します。成長段階の終わりに、CCDは単結晶ウェーハを単結晶ウェーハにスライスする準備ができています。スライシング段階は、シングルクリスタルウェーハの切断用のスライスソーを保持するCCDチャンバーに正確に配置されたツールキャリアをリリースすることから始まります。スライスソーは、スライスの全体的な形状とサイズを定義する単結晶ウェーハのスロットを作るために使用されます。これが完了すると、スライスソーは切断する必要があるスライスに達するまでCCDに沿って手動で移動されます。スライスが切断されると、それらは手動でキャリアに配置され、コンベヤーベルトに接続され、ソーイングステーションに輸送されます。ソーイングステーションは、特殊なブレードを使用して、所定の形状とサイズのウェーハにスライスをカットします。次に、ウェーハをトレイまたは専用ホルダーに置き、ウェーハを次の生産ステーションに輸送します。スライスとソーイングプロセスが完了すると、ウェーハは検査と包装の準備が整います。DW 288 P6は、電子部品用の単結晶ウェーハの製造を必要とするさまざまな産業用途で使用できる信頼性の高い高精度機械です。