中古 MEYER BURGER BS 810 #198391 を販売中

MEYER BURGER BS 810は、ウェーハ加工のプロセスを自動化するように設計された高度な結晶成長、ソーイング、スライス装置です。このシステムは、ユニークなCVD/PECVDコーティングユニットと、マルチチャンバー気圧化学蒸着（APCVD）炉を使用して、均一で信頼性の高い結晶成長を提供します。機械は異なった形およびサイズの水晶を育て、ウェーハに切ってスライスし、そして自動的にこれらのウェーハの表面を磨くことができる。BS 810は精密な水晶成長およびスライスを保障するのに精密な温度およびガスの流れ制御の技術を利用します。高度なオンボードコンピュータを搭載しており、結晶成長中の電力、温度、速度、ガスの流れ設定を正確に調整できます。このツールはまた、成長の進行状況をテストおよび分析するためのデジタルイメージングアセットを備えており、複数のウェーハを正確に同時にスライスすることができます。さらに、ウエハサイズと抵抗性を向上させる高度なCVDコーティング技術を提供します。MEYER BURGER BS 810は、ウェーハの自動切断、スライス、研磨を可能にする複数工具ロボットアームを備えています。ロボットアームは、シングルヘッドまたはマルチヘッドスライシング用に設計されており、機器からウェーハを管理、ロード、アンロードできます。ロボットアームはまた、ウェーハ上で精密な研磨とバリ取りプロセスを実行することができます。ロボットアームは耐腐食性材料で作られ、切断工程の精度を確保するためにフェイルセーフ機構が組み込まれています。また、BS 810には自動ハンドリングシステムが搭載されており、ウェハの効率的な積み下ろしが可能です。ユニットは、ウェーハコンベア、カルーセル、およびさまざまな転送機構の範囲でカスタマイズすることができます。この自動ハンドリングマシンは、結晶成長、ソーイング、スライシングプロセス全体で精度と再現性を向上させながら、ロードとアンロードの時間を短縮するのに役立ちます。MEYER BURGER BS 810は信頼性が高く効率的であり、結晶成長、ソーイング、スライスのための完全なソリューションを提供します。このツールの正確な温度およびガス流量制御、高度なCVDコーティング技術、自動化されたロボットアーム、自動化されたハンドリングアセットにより、正確で反復可能なプロセスが保証されます。BS 810は、精密な結晶成長、ソーイング、スライスが必要な幅広い用途に最適です。