中古 KOMATSU PV500D #9289852 を販売中

KOMATSU PV500D
ID: 9289852
ヴィンテージ: 2011
Solar cell wafer processing system Fixed abrasive Working: 800 Hours Piece cutting: 156 x 500 x 1 2011 vintage.
KOMATSU PV500Dは独特な水晶成長、製材およびスライス装置です。シリコン、炭化ケイ素、ヒ素ガリウムなどの単結晶材料の成長、切削、スライシングなど、さまざまな用途に使用できるように設計された多機能システムです。このユニットは、真空炉オーブンの効率と信頼性と、部品の温度、雰囲気、動きの高度なリアルタイム制御を組み合わせています。PV500Dは、総容量50リットルのマルチゾーン真空炉オーブンで構成されています。真空オーブンは950°Cまで加熱し、-100°Cまで急速に冷却することができます。炉の温度の精密な制御を提供するために機械に可変周波数ドライブ(VFD)が含まれています。オーブンには、室内の大気を正確に制御するための内部ガスミキサーも備えています。高温オーブンは、チャンバーに不活性ガスを導入するために使用されるガス管状フィーダーによって供給されます。この工具で使用される不活性ガスはN2またはArであり、炉の酸素を含まない雰囲気を維持するために使用されます。オーブンはまたオーブンの均一な温度を保つために水冷式のバッフルおよび調節可能な煙道管が装備されています。KOMATSU PV500Dは、人工水晶成長チャンバー、石英ボードスライシング装置、X線フラックスモニター、赤外線温度モニターを搭載した大口径の水晶プル炉モジュールを採用しています。石英ボードのスライス装置は、石英ボードを等しい幅のスライスに切断するように設計されています。X線フラックスモニターは、水晶の温度を監視して均一な成長を保証します。赤外線モニターは、炉の温度を迅速かつ正確に測定および調整するために使用されます。結晶の引きの炉モジュールの部品は装置から容易に取付けられ、取除くことができますいろいろな結晶の成長のための速いセットアップおよび分解のために、切ることおよびスライスすることを可能にします。炉モジュールは8つの水晶板まで同時に収容できます。PV500Dは、単結晶材料の結晶成長、ソーイング、スライスを目的に設計された多機能アセットです。温度、大気、部品の精密制御により、単結晶材料の成長、ソーイング、スライシングに最適です。そのマルチゾーン真空炉オーブンは、950°Cまで加熱し、急速に-100°Cまで冷却することができ、チャンバー内の雰囲気をより良く制御することができます。大口径の水晶引きの炉モジュールは水晶板スライス装置、X線のフラックス・モニターおよびユーザーが水晶の温度、大気および部品のより精密な制御を持つことを可能にする赤外線温度モニターが装備されています。
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