中古 KOMATSU PV500D #9228707 を販売中

KOMATSU PV500Dは、先進半導体や電子材料の研究開発を目的とした高性能結晶の成長、ソーイング、スライス装置です。単結晶成長、スライス、ソーイングの重要なプロセスを高精度かつ生産性で実現できる多機能システムです。PV500Dは、コールドルシブルフィーダ機構を備えた真空チャンバー、サイリスタ制御DC電源、ロードロックドアなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。大気、真空、または不活性ガスで行われる実験をサポートするように設計されています。真空チャンバは、結晶成長のための4E-5 mbarの圧力を達成することができます。冷たいるつぼの送り装置は水晶および水晶上塗を施してあるステンレス鋼から成っています。それは熱絶縁されたステンレス鋼ボディおよびサファイアのるつぼから成っています。結晶の成長に使用されるるつぼは、1300°Cまで加熱し、電源を使用して700°Cまで冷却することができます。ロードロックドアは、バッチで結晶を成長させるための3つの異なる基板を収容することができます。コマツPV500Dは、大型結晶と複数の基板を同時に成長させるGrowing Plate Laminating Technique （GPLT）もサポートしています。電源設定、圧力、温度などの負荷パラメータは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して制御できます。さらに、このユニットはサーマルマッピングマシンと統合されており、るつぼの冷却/加熱機能を監視し、均一な結晶成長を保証します。ソーイングとスライス加工には、セゴマダイヤモンドブレードソーとスライスハンドホイールPV500D装備しています。ソーイング用のロードロックドアには、最大3つの基板をロードできます。セゴマソーは、調整可能なダイヤモンドブレードにより、高精度のスライスに最適です。また、高速回転と高精度の切断操作を可能にするスイベルベースを備えています。スライスハンドホイールを使用して、ウェーハをロードロックからソーに移動させます。KOMATSU PV500Dは、汎用性と生産性の高い結晶成長、ソーイング、スライスツールであり、高品質の単結晶を成長させ、正確にスライスする能力を科学者や研究者に提供します。その使いやすさは、研究室や生産設備に最適なツールです。