中古 KOMATSU NTC MWM 442DM #9401391 を販売中

KOMATSU NTC MWM 442DMは、高精度の単結晶基板を製造するために使用される最新の結晶成長、切削、スライス装置です。このシステムは、高ベベル傾斜レーザーアライナーと、複数の構成と処理ニーズに対応するために迅速にセットアップ、移動、再構成することができるコンパクトでモジュラー設計を備えています。自動切削およびスライシングモジュールは、正確な切断を保証するために、自動クランプ、傾斜、自動センタリングユニットを備えたリニアモータドライブを備えています。また、マルチビームおよびマルチフォーカルイメージング技術を搭載し、成長する基板を正確に整列およびスキャンします。このツールの成長チャンバーは、基板のすべてのゾーンにわたって加熱を正確に制御することを可能にする、正確な圧電ゾーン加熱アセットを備えています。温度、大気、酸化および大気圧力の精密な制御によって精密および再現性は高められます。このモデルには、再現可能な基板品質のための正確で一貫した酸化レベルを保証するクローズドループ窒素大気制御装置が含まれています。このシステムには、リアルタイム検査と正確な動作条件の保証のための温度および大気センサーも含まれています。さらに、粒子汚染、汚染粒子、表面粗さを低減する独自の高真空、超精製プロセスを搭載しています。これにより、長持ちする基板と一貫した高品質の最終製品が保証されます。最大スループットを実現するため、6軸ロボットアームを連続的に回転させることができます。この精密に制御されたロボットモジュールは、プロセス中の迅速かつ正確な移動を保証します。自動化された制御ツールは、回転ロボットアームの速度と圧力を最小の位置とステップサイズで連続的に調整します。このアセットは、最大ウエハサイズが400mmの広範囲のウェーハで使用できるように設計されています。また、表面欠陥を除去するビーズブラスト表面処理、表面品質を向上させる高圧化学機械研磨処理、結晶ドメインの安定性を向上させる熱処理プロセスを備えています。KOMATSU NTC MWM-442DMは、単結晶基板を製造するための信頼性の高い高精度機器です。高効率、高精度で、さまざまな用途に優れた品質の基板を提供します。