中古 AMAT / APPLIED MATERIALS B6 MaxEdge #9012212 を販売中
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ID: 9012212
Wire saws
Work piece dimensions (L x W):
Max. 4 x 156 mm x 156 mm
Max. 2 x 220 mm x 220 mm
Loading length: max. 4 x 540 mm
Wire speed: 20 m/s
Wire acceleration: 3.5 – 13.5 m/s2
Wire guide length: 560 mm
Wire guide diameter: 300 mm
Number of wire guides: 4
Wire guide power: 4 x 46 kW
Table:
Total table travel (depends on clamping): max. 250 mm
Cutting speed: 0 – 9000 μm/min
Fast table speed: 0 – 460 mm/min
Number of tables: 2
Wire:
Wire tension: 10 – 30 N
Wire length: max. 2 x 1100 km
Wire web width: max. 540 mm
Slurry:
Tank capacity: 700 liters
Pumping capacity: max. 2 x 160 kg/min
Pump power: 3 x 7.5 kW
Pumping speed adjustments: 0 – 100%
Number of pumps: 2 for slurry delivery, 1 for slurry return
Number of manifolds in slicing room: 6
Utilities:
Air pressure / Air flow: 4 – 6 bar / min. 30 m3/h
Exhaust flow: 1 x 250 m3/h
Cooling unit power: 200 kW
Incoming water temperature / Flow (without cooling compressor): max. 15 °C / 24.6 m3/h
Electrical frequency: 50 or 60 Hz
Average power (without cooling compressor): 130 kVA
Maximum power (without cooling compressor): 280 kVA.
AMAT/APPLIED MATERIALS B6 MaxEdge Equipmentは、最適な効率と精度のために設計された、高度な結晶成長、ソーイング、スライシングシステムです。このユニットは、精密リソグラフィ、結晶成長、レーザー切断、その他の強力な機能など、いくつかの革新的な技術を組み合わせて、可能な限り最高品質の結晶を生成します。この機械は、マイクロメーターとナノメートルスケールの材料合成と加工の最新の進歩を効果的に利用する独自の結晶成長プロセスを利用しています。精密リソグラフィは、ユーザー定義のパラメータのセットによって制御される、ウェーハ表面に正確なパターンの形でハードマスクを堆積するために使用されます。リソグラフィは、1回の操作で正確にマスクをトレンチするためにコーティング全体に焦点を当てたレーザーがスイープする前に、所望のアーキテクチャに自己整列します。レーザーは、その後、独自の形成スキャン段階が続きます。この段階では、結晶材料の特定の形状へのエッチングが容易になり、スラブ、柱などの構造が非常に高精度に生成されます。エッチング後、マスクをウェーハから持ち上げ、3D構造を元の状態で明らかにします。AMAT B6 MaxEdgeは、さまざまなスライス機能とダイシング機能もサポートしています。統合されたスライシングステーションは、機械的スライスのための材料を正確に切断することができます、その統合されたこぎりは、バー、ペレットなどの形状に材料の切断を可能にします。その後、ダイシングステーションはプロセスの最終ステップを実行し、繊細な材料を薄いウェーハに高精度に切断します。APPLIED MATERIALS B6 MaxEdgeは、プロセスのすべてのステップを高度に制御します。高度な自動化により、結晶成長プロセス、リソグラフィ、エッチング、スライス、ダイシングを動的に制御できるため、ユーザーはプロセスを完全に制御できます。この極端なレベルの制御により、最先端の特性と機能を備えた材料の生産が可能になります。
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