中古 LAM RESEARCH 2080 TCU #9243768 を販売中

LAM RESEARCH 2080 TCU（熱制御ユニット）は、半導体加工のために設計された再循環チラー、熱交換器、温度維持装置です。この特殊なチラーは、敏感な半導体加工装置を保護するために、正確なプロセス冷却と温度メンテナンスを提供するように設計されています。再循環チラーは、主に高効率の熱交換器を使用して、革新的な温度メンテナンスを備えています。2080 TCUは、多くの半導体テストプロセス操作に共通する限られたスペース内で動作するコンパクトで堅牢な設計を特徴としています。また、温度維持と冷媒ポンプモータ速度の両方に最適化された機械部品と電子部品の完全な補完を利用しています。さらに、TCUの再循環チラーは、温度を効率的に維持するためのクローズドループ熱交換器システムとして構成されています。このユニットは、最大の再循環効率と機器内のホットスポットを迅速に冷却する能力のために2つの（2）水冷プレートを備えています。冷却要素に加えて、LAM RESEARCH 2080 TCUは、ポンプ速度とプレート設計を自動調整して最適な温度メンテナンスを実現するマイクロプロセッサ制御温度モニタを備えています。PID （Proportional-Integral-Derivative）制御方式により、半導体製品の高精度を実現しました。温度モニターはまた、機械がさまざまな環境条件にさらされても、厳しい公差内で温度を維持できることを保証します。2080 TCUはまた、ツールの性能パラメータを継続的に監視する診断マイクロプロセッサを備えています。この資産はまた、信頼性の高い操作とモデルの問題の早期発見を確実にするために自己診断を行っています。最後に、装置はまた過熱および圧力救助からシステムを保護する高度の安全機能を含んでいます。全体として、LAM RESEARCH 2080 TCUは、敏感な半導体加工装置の正確な温度を維持するように設計された革新的で堅牢で信頼性の高い再循環チラーおよび熱交換器です。このユニットの高度な機能と優れた温度メンテナンスは、効率的で信頼性の高い性能を提供し、半導体テストプロセスの最大の結果を保証します。