中古 LAM RESEARCH 2080 TCU #293657934 を販売中
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LAM RESEARCH 2080 TCU (Thermal Control Unit)は、半導体用に特別に設計された革新的なチラーです。様々な工程チャンバで-20°C以下の温度を維持するように設計された再循環熱交換器です。2080 TCUには、蒸発器、コンプレッサー、コンデンサーが装備されており、これらを組み合わせてクローズドループ冷媒装置を作成します。蒸発器はプロセス部屋からの熱を吸収し、そして圧縮機は熱された冷却剤を圧縮し、コンデンサーに送ります。冷媒がコンデンサーを通過して熱が排出されると熱交換が行われます。これは、設定温度を維持するための効率的な冷却技術を提供します。LAM RESEARCH 2080 TCUは、蒸発器とコンデンサーの両方のユニークな設計のため、あらゆる超薄型プレナム内で動作するように設計されています。その蒸発器およびコンデンサーは気流および圧力の完全なバランスを保障するためにCFD(計算流体力学)の技術を使用するように設計されています。これにより、プロセスチャンバ内の温度制御と信頼性が向上します。2080 TCUはまた、プロセス温度を維持し、エネルギー消費を削減するために設計されているため、非常に効率的です。その蒸発器およびコンデンサーの設計は最適化された流体力学電流を使用して蒸発器とコンデンサー間のより大きい熱交換を促進します。これにより、システムの冷却能力が増加し、エネルギー消費量が減少します。さらに、このユニットは手動モードと自動モードの両方を備えており、冷却ユニットのさらなる制御とカスタマイズを可能にします。さらに、LAM RESEARCH 2080 TCUは非常に信頼性が高く安全です。それは信頼性および保護の最もよいレベルを保障するのに二重安全motoring機械を使用します。さらに、そのソフトウェアは、エラーを検出し、その温度制御ツールの任意の不規則性のアラートを提供するために特別に設計されています。これにより、ユーザーは資産内の潜在的な問題や破損を通知することができ、さらなる露出と安全性を提供します。全体として、2080 TCUは、効率的な冷却技術、優れた温度制御、低エネルギー消費、および信頼性の高い設計により、半導体アプリケーションに最適です。それは付加的なエネルギー消費のための必要性なしでプロセス部屋の低温を維持したいと思う人々のための大きい選択である。
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