中古 SEMITOOL Storm 300 #9211217 を販売中

SEMITOOL Storm 300は、半導体業界のボックスワッシャーです。これは、化学機械平面化（CMP）やウェットクリーニングなどの高度なプロセスのために設計されています。Storm 300は高度な設計を採用しており、優れた清潔性、優れたプロセス制御、高いスループット容量を可能にする機能を備えています。SEMITOOL Storm 300は、高度な洗浄能力、精密プロセス制御、高速プロセス処理スループットを提供するように設計されています。その設計は優秀な熱および汚染物の制御を促進し、均一な、質の結果を保障します。Storm 300は、クローズドループ、再循環、ホットおよびコールドDIW装置、複数の再循環ポンプ、および温度制御システムを利用しています。SEMITOOL Storm 300には、6つの独立して調整可能なスプレーチャンバーと、独立して温度制御された9つのホット&コールドリンスタンクがあります。また、完全自動ホットおよびコールドケミカルデリバリーシステムと、個々の処理タンクのサンプリングと排水のためのユニークな内部ユニットを備えています。Storm 300は、水流、温度、化学濃度などの洗浄パラメータの優れた制御を提供します。SEMITOOL Storm 300にはマルチゾーン硬化オーブンがあり、部品を素早く加熱し、よりクリーンで、より速く、より信頼性の高い乾燥プロセスを提供するように設計されています。このオーブンはまた調節可能な空気速度制御機械および温度調整用具を含んでいます。揮発性化合物を排出するための内部排気資産も含まれており、優れた清潔性を確保しています。Storm 300はまた、2台目の硬化オーブンやフィルター/ポンプアセンブリなど、さまざまなオプションのウェットベンチアクセサリーにチャンバーを提供します。SEMITOOL Storm 300は、ドアインターロック、真空センシング、高温警告モデルなど、堅牢な安全システムで設計されています。Storm 300にはオンボードデータロギングと制御装置もあり、正確で繰り返し可能なプロセスパラメータを保証します。SEMITOOL Storm 300は、大量の半導体製造の厳しい要件を満たすように設計されており、高度で信頼性の高い設計と優れたプロセス制御を提供します。