中古 SEMITOOL SATCB 1280 HF VAPOR #293634212 を販売中

SEMITOOL SATCB 1280 HF VAPOR BOX Washerは、重要な半導体および太陽電池洗浄アプリケーションに使用される高度なウェーハ洗浄装置です。この高性能システムは、小型バッチ（12インチ）洗浄用に特別に設計されており、幅広い液体および蒸気相の洗浄化学物質を使用して優れた洗浄結果を達成することができます。SATCB 1280は12 "x12" x24"のデータ制御された熱抵抗ヒーターが装備されており、ステンレス鋼の部屋で囲まれています。この洗濯機の特定のモデルは、一度に1つのウェハ、1つ以上のバッチ、または複数のウェハを含む湿式および乾式の化学プロセスに使用されます。クリーニングユニットはウォータージャケットスプレーバーを使用しており、クリーニング化学を高圧でウェーハに供給します。このプロセスは均等に分散され、特定のクリーニングアプリケーションの要件に合わせて調整することができます。SEMITOOL SATCB 1280は、洗浄サイクル中にウェーハ表面を攪拌するロータリーブラシも備えており、洗浄結果をさらに向上させます。加熱されたウェハは、暖かい空気送風機を使用して乾燥されます。加熱された空気の温度および流量は調節可能であり、ユーザーは特定のクリーニングの条件にプロセスをカスタマイズすることを可能にします。統合されたデータ制御機械は各サイクルがより一貫した、正確であることを保障するために、時間、温度および液体配達のようなクリーニングサイクルの細部の広範囲の表示をユーザーに与えます。さらに、このツールには、サイクル範囲外の障害状況またはパラメータを示す一連の安全アラームとシャットダウン機能が含まれています。半自動ローディングモジュールも温度制御されており、全体のプロセスと一貫した温度を維持します。全体的に、SATCB 1280 HF VAPOR BOX Washerは、優れた洗浄性能と一貫して優れた結果を提供します。統合されたデータ制御資産と安全アラームにより、オペレータはクリーニングサイクルの微妙な変化に警告され、ユーザーは調整を行い、プロセスを自信を持って微調整することができます。さらに、このモデルは様々な液体、蒸気、乾燥化学プロセスで動作するように設計されており、半導体および太陽電池クリーニング用途に最適です。