中古 SHINKAWA UTC-3000 WE #9261671 を販売中
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SHINKAWA UTC-3000 WEは、ウェハレベルのパッケージング用途向けの精密ボンダーです。この装置は、生産性の向上とコスト削減を確保しながら、超精密かつ高繰返し性のボンディングを提供するように設計されています。ボンダーは、高分解能(3 μ m)のリニアサーボモータによって駆動され、高速ボンド速度と小型ボンドサイズの両方を実現します。さらに、金、プラチナ、アルミニウム、銅、チタン合金など、さまざまな材料を結合できる多層結合ユニットを備えています。新川UTC-3000WEボンダーは、ウェーハ搬送モジュール、ピエゾ電動アクチュエータ、サーマルヘッド、ボンドヘッドからなるウェーハレベル包装に全自動マシンを採用しています。ウェハトランスポートモジュールは、接合プロセスの実行のための基板の正確かつ再現性の高い処理を提供します。ピエゾ電動アクチュエータはボンドヘッドの駆動を担い、高精度・低変位で高品質な結果を得ることができます。熱ヘッドは結合を完了するために必要な熱を提供するように設計されていますが、結合ヘッドは材料基板の精密アライメントのために設計されています。さらに、UTC 3000 WEには、ウェーハとダイアライメント用のインラインビジョンツールが装備されています。この資産は、ダイと基板のエッジを検出し、それに応じてそれらを配置することができます。さらに、ボンダーは、ボンドの高さが不十分であること、ダイシフトが大きいこと、および過剰なボンド領域など、さまざまな欠陥を検出できる統合検査モデルを備えています。UTC-3000WEは、超精度と高い再現性を含む優れた接合性能を提供します。高度に自動化された装置は潜在的なエラーを防ぎ、効率的な生産につながり、高いスループットと歩留まりの両方を提供します。さらに、インラインビジョンシステムと検査ユニットは包括的な品質保証プロセスを提供し、信頼性と一貫した結果を保証します。
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