中古 NEWPORT MRSI 705 #293770128 を販売中
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NEWPORT MRSI 705は精密な微細構造およびナノ構造のために設計されている最先端のボンダーです。その先進的な装置設計により、迅速で信頼性の高い正確な性能を実現し、ミクロンスケールアセンブリの接合を実現します。NEWPORT 705は、連動ロボットアームを備えた完全自動化システムです。このロボットアームは、ワーク搬送ユニットとして機能し、5つのツールのいずれかの場所にアクセスできます。工具位置へのロボットアクセスの柔軟性は、効率的な操作を可能にし、多様なタスクのための信頼性の高い操作を保証します。ボンダーの作業面積は600mm×600mmで、最大移動範囲は100mmです。3軸クローズドループサーボモータツールと、工具位置決めやハイスループット動作用のサーボステッピングモータを採用しています。アセットには、高精度ボンドアライメントのためのサブミクロン分解能を備えたレーザーアライメントモデルが装備されています。ボンダーには、個々のボンドを正確に制御するためのマイクロステッパーもあります。MRSI 705には、ボンド監視およびフィードバック操作用のファイバ干渉計が装備されています。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたインテリジェントボンドプロセスコントローラを備えており、統合された機器制御だけでなく、マルチパス制御、リアルタイム制御、自動化されたプロセス最適化などの幅広い運用/プログラム可能な機能を提供します。ボンダーには、アライメント精度とフィードバックのためのサブミクロン分解能を備えたビジョンシステムも装備されています。また、データロギングとリモートアクセス機能を備えており、詳細なプロセス監視と分析を提供します。705は、高精度のプラズマプリクリーニング機を使用して、困難な表面の接合を支援し、一貫した信頼性の高い結合を提供します。また、債券問題やプロセス逸脱問題のトラブルシューティングのための障害診断機能も備えています。NEWPORT MRSI 705は、MEMSアセンブリやデバイス、LCDレンズボンディング、マイクロ指向ダイボンディングなど、多くの微細・ナノ構造アプリケーションに最適なソリューションです。このツールの統合設計と、高温に敏感でない材料を結合する機能により、これらの要求の厳しい作業に最適です。ボンダーの光学アセットの正確なアライメントとコントローラの高度なライブモニタリング機能により、NEWPORT 705は、精密ボンディング操作のための信頼性が高く、スマートで効率的なソリューションとなります。
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