中古 K&S 6100 #9363104 を販売中

K&S 6100は、半導体業界の様々なボンドプロセス向けに設計された先進的な自動ウェハボンディング装置です。最大8個のウエハを同時に処理できるように設計された6100は、最先端の精密レベラー機能、高度なウエハハンドリングモーションシステム、高性能イメージングシステムを備えています。K&S 6100には精密レベラーステージが装備されています。これにより、各ウェーハの姿勢に合わせて傾きやねじれを調整することができ、ウェーハの寸法が均一でなくても、互いに相対的に正確にアライメントすることができ、手作業による介入の必要性を低減できます。ピッチ、ロール、ヨーの制御、アクティブヒーブ補償ユニットを提供します。6100はまた窒素/酸素の大気で満ちている高温プロセス部屋を含んでいます。このチャンバーは、陽極、共鳴、熱圧縮接合などの結合プロセスに理想的な環境を提供します。この機械を使うと、ユーザーは850°Cまで高温プロセスを実行できます。ビルトインビジョンツールは、結合部位の正確な配置を可能にするアライメントを簡素化します。K&S 6100は、スループットと生産性を向上させるためのさまざまなオートメーションオプションを提供します。ユーザーは、複数のボンドサイトまたは高速ボンドサイトのオプションを使用して、最大2つのボンドプロセスを並列または並列に実行できます。自動化されたウェーハハンドリングソフトウェアにより、ボンディングサイトにウェーハを手動で配置することもできます。最後に、6100にはさまざまな安全性と校正機能が含まれています。これには、ユーザーやコンポーネントを予期しないイベントから保護するためのさまざまな安全インターロックと、専用のウェーハおよびボンドインターフェイスの校正ルーチンが含まれます。要するに、K&S 6100は、半導体業界で使用される高度な結合プロセスを効率化するために設計された自動ウェハボンディング資産です。精密レベラーステージ、高温プロセスチャンバー、およびスループットと安全性を向上させるさまざまなオートメーション機能を備えています。