中古 HUGHES / PALOMAR 2470-V #293662301 を販売中
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HUGHES/PALOMAR 2470-Vは、半導体、磁気ヘッド、およびその他の同様のマイクロ電子部品を製造するために設計された自動結合装置です。このシステムは、機械エネルギーと熱エネルギーの組み合わせを使用して、異種金属などの異種材料と半導体材料と他の金属との間に長期的な結合を形成します。ロボットアームも備えており、2方向、3方向、または4方向に移動するようにプログラムすることができ、ボンディングプロセスから部品を運ぶことができます。HUGHES 2470Vが使用する加熱プロセスは強制対流法であり、均一な熱を作業領域全体に均等に分散させ、均一な結合をもたらします。PALOMAR 2470 Vは、ベースフレームと、窒素パージフードに囲まれた作業エリアで構成されています。このフードは、作業領域に窒素雰囲気を提供するようにプログラムされており、接合プロセス中に酸化が最小限に抑えられます。マシンには、2軸ロボットアームを取り付けたベースフレームが含まれています。このアームは、プロセスの開始時に配置されたロードステーションから、プロセスの終了時に納入される排出ステーションに部品を輸送することができます。また、ベースフレームマウントアームは、ボンディングツールヘッドをウェハ上の指定位置に運び、ボンドが形成されます。加熱プロセスは、2つの異なる材料を1つの部分に結合するプラットフォームであるホットバーボンダーを使用して行われます。ホットバーボンディングは2つの材料の温度を上昇させ、結合を迅速かつ最小限の熱分解で発生させることができます。デュアルヒーターツールを使用することで、作業領域全体の熱分布も可能になり、均等に形成された結合が得られます。ホットバーは水平に配置することもでき、接着する必要がある部品の下側にアクセスすることができます。PALOMAR 2470Vはまたヒーターの温度を測定するのに使用される温度調節器を特色にします。これにより、ユーザーは温度を制御し、形成される結合が最高品質であることを確認することができます。さらに、HUGHES 2470-Vは、接合プロセスを監視し、部品の位置ずれを検出するビジョンアセットを備えています。全体として、HUGHES/PALOMAR 2470 Vは、マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される異種部品の接合プロセスを簡素化するユニークで信頼性の高いモデルです。ロボットアーム、窒素パージフード、デュアルヒーターシステム、ビジョンユニットなどの機能が連携し、高品質のボンド形成を実現します。
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