中古 EVG / EV GROUP Gemini #9262790 を販売中

EVG/EV GROUP Geminiは、先進的なナノサーフェスアライメント技術を活用した高度な複合/構造/材料接続アプリケーション向けのハイテク接合装置です。このマシンはデュアルワークゾーンで動作し、350nmのµm精度で加熱されたXYテーブルを備えています。また、優れた張力と温度制御システムを備えており、正確で再現性のある接合プロセスを保証します。また、最先端の真空システムを搭載しており、製造には無毒で欠陥のないアセンブリを提供し、最大200mmのウエハサイズの取り扱い機能を備えています。このデバイスには、自動ウェーハレベル調整、ダイレベル調整、および正確なシーリングと配置のための統合ヒートシールチャックが装備されています。EVG Geminiは、高速圧力制御と1000°Cまでの精密な温度制御で、接合プロセス中の温度と圧力の正確かつ再現可能な制御を提供します。また、ダイとウェーハレベルの精密かつ反復可能な調整、ブロードキャストウェーハアライメント、均一なウェーハレベル調整も提供します。EV GROUP Geminiは、金属、セラミックス、プラスチックなどの接触材料にも優れた接着性を提供し、最大4ポイントの接触高速機能を備えています。統合されたプロセス監視システムにより、ユーザーはコンタクトプロセスの正確な画像フィードバックを取得できます。さらに、高解像度CCDカメラが構造/複合面のライブイメージを撮影する統合顕微鏡システムを搭載し、接触プロセスを瞬時にフィードバックできます。ジェミニは、ホットガスリフロー、誘導結合プラズマ（ICP）、プラズマレス、およびその他の先進的なプロセスと互換性のある幅広い基板を結合するように設計されています。この機械はマイクロアセンブリや構造に適しており、信頼性の高い再現性を備えた安全な結合を提供します。