中古 EVG / EV GROUP 520 #9281402 を販売中

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製造業者
EVG / EV GROUP
モデル
520
ID: 9281402
ウェーハサイズ: 6”
Bonder, 6” Heater, 6” Bonding processes: Thermo compression Fusion bonding Maximum temperature: 550°C Maximum contact force: 10,000 Newtons (Without hydraulics) / 40,000 Newtons (With hydraulics) Chamber manuals included.
EVG/EV GROUP 520は、さまざまな小径0。7〜4。0mmの直径用途で、ウェッジとボールボンドの両方を実行できる完全自動化ワイヤおよびダイボンダーです。EVG 520は、高度なウェーハレベル計測機器と堅牢なプラットフォームベースのソフトウェアを内蔵しているため、高速で高精度なボンディングが可能です。このシステムは、X-Yでは3。5 ±、角では12 µmの再現可能な精度で、非常に構成可能なハーフインチファインピッチオートアライメント機能をµmしています。金・アルミニウムと銅・金・モリブデン基板との接合に加え、超硬・ダイヤモンドなどの接着性の高い材料を接合することが可能な先進ユニットです。EV GROUP 520は、18種類のウェッジボンドツールを提供する最適化されたボンドヘッドで構築されており、最大6つのツールが同時にタレットにインストールされています。これにより、機械は複数の工具交換を必要とするプロセスをサポートできるため、プロセスの柔軟性が大幅に向上します。オンカメラソフトウェアは柔軟性を提供し、自動配置とワイヤーボンディングプロセスを可能にします。このツールは、磁気ツーリングアセットとリニアで傾斜可能なボンドヘッドを使用して、正確な複数のボンド配置を行います。統合された顕微鏡は、目視検査だけでなく、リアルタイムワイヤーボンディングを可能にし、生産スクリーニングのためのIPC規格に従って、また精密な部品レベルの検査のために最高品質の画像が生成されます。このモデルは、精密な金型配置のために最大3軸の移動制御を提供し、効率的なプロセス分析のためのフル機能のプロセス制御およびデータロギングパッケージを備えています。520の合計サイクル時間はわずか3秒です。ダイボンダーは、過負荷保護を備えた統合安全装置を備えており、ワークステーションの清潔さを維持するためにHEPAフィルターを備えた専用のパーティクルフィルターユニットを使用しています。このシステムは、迅速で簡単なセットアップとインストールのために設計されており、サービスとメンテナンスを最小限に抑える必要があります。全体として、EVG/EV GROUP 520は堅牢で信頼性の高いダイボンダーであり、今日の最も要求の厳しいアプリケーション要件を満たし、一貫した結果を提供するように設計されています。このデバイスの高度な機能セット、優れた精度、短いサイクルタイムにより、信頼性の高いワイヤとダイボンディングを必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。
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