中古 EVG / EV GROUP 520 #9022766 を販売中

EVG/EV GROUP 520 （EVG 520）は、幅広いマイクロスケールおよびナノスケール生産アプリケーション向けに設計された高度なウェハボンディングおよびリソグラフィーツールです。これは、カプセル化された低基板の温度環境と高度な熱制御装置を備えており、超薄線の幅と高スループットでウェーハを結合する能力を備えています。EV GROUP 520には、高精度のモーションコントロールシステムと、精度を確保するための自動化されたアライメントユニットがあります。また、低真空コンターマシンを搭載しており、非常に小型で複雑な特徴を持つ大型基板を接着することができます。これにより、フォトニック、オプトエレクトロニクス、センサデバイス、集積回路、複雑なウェハスケール構造の製造に適しています。EVG/EV GROUP 520のダイアタッチモジュールは、高温半導体材料をはじめとする幅広い基板でダイボンディングが可能です。また、自動テープフィーダ、真空チャッククランプ、シールヒーターを備えており、正確な金型配置と最適な温度制御を保証します。EVG 520には、ダイ不況エッジ、自動レイヤーマッピング、精密アライメントなどの機能を備えた最先端のソフトウェアスイートも含まれています。EV GROUP 520のリソグラフィーモジュールは、90nmまでの複雑なパターンを5mmの線幅で印刷することができます。つまり、フォトニック回路や導波管などの小型で複雑な回路要素を基板に印刷することができます。さらに、リソグラフィーモジュールには高度な光学フォーカス制御ツールが搭載されており、印刷されたパターンに対して一貫したフォーカスを維持することができます。全体として、520はフォトニクス、オプトエレクトロニクス、およびその他の小規模エレクトロニクスの生産のための高度で信頼性の高いツールです。凝縮された環境、低基板温度、精密なモーションコントロールアセットなどの特徴により、幅広いナノスケールおよびマイクロスケール用途に適しています。