中古 BREWER SCIENCE 1300CSX #293656541 を販売中

BREWER SCIENCE 1300CSXは、シリコンウェーハなどの基板を一時的に接合・脱着するウェーハ接合装置です。このシステムは、手動または自動のいずれかの構成で利用可能であり、どちらも高精度で一貫したボンド品質を提供するように設計されています。1300CSXは、自動化されたウェーハアライメントユニットを備えており、1軸で10 µmの精度を±しています。この機械は、接触させるにつれてウェーハ内の弓とねじれを測定し補償することができます。これにより、ウェーハの手動アライメントが不要になり、再現可能なアライメント精度が得られます。このツールには、温度、力、位置合わせ、変位などの変数に対するフィードバックを提供する統合されたプロセス監視アセットもあります。このモデルは、850°Cまでの接合温度を可能にする高温拡散接合プロセスで設計されています。これにより、熱可塑性プラスチック、ガラスフリット、金属など、さまざまな用途や材料に適しています。また、接合基板をチャック上に正確に配置できる3次元ウエハハンドリング機構を搭載しています。BREWER SCIENCE 1300CSXには、精度とスループットを向上させるさまざまなプロセスツールが装備されています。これらには、クイックチェンジチャック装置、自動化されたビジョンシステム、高レベルの熱処理制御、および動的種別制御が含まれます。このユニットは、最大1秒間のスループットで設計されており、プロセス開発を簡素化するためにさまざまなプリセットレシピを備えています。また、連動安全ゲートツール、安全カーテン、酸素モニターなど、ユーザーやその他の要員の安全と幸福を確保するためのさまざまな安全対策を提供しています。プロセス制御、ロギング、およびプロセス最適化を可能にするために、多くのデータ出力オプションが用意されています。半導体1300CSX MEMSデバイスにおけるウェハボンディングおよびデボンディング用途の中・大量生産に適しています。この資産は使いやすく、正確なプロセス制御を提供し、信頼性の高いプロセス結果を提供します。