中古 ASM Hummingbird #9047420 を販売中
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ASM Hummingbirdは、マイクロエレクトロニクス業界の半導体アプリケーション向けに設計された自動ウェハボンディング装置です。インテリジェントコントローラ、産業用サーボ駆動システム、および統合ボンディングヘッドで構成される完全自動化されたマシンです。インテリジェントコントローラは、多数の統合センサーとフィードバックループを備えたユニットの主要部分であり、機械がボンディングプロセスを最適化することができます。また、簡単な操作とトラブルシューティングのために、イーサネットインターフェイスを介してリモート制御と診断を容易にします。また、ブラシレスサーボモータと精密エンコーダを組み合わせた精密なモーションコントロールにより、再現性のある結果を実現します。統合された結合の頭部はいろいろな材料を使用して2つの表面を接続するのに使用される専門にされた用具です。ヘッドには堅牢なクランプアームがあり、ボンド形成時に基板を確実に固定し、正確な温度制御のために調整できる発熱体を備えています。このツールは、接触力と速度の両方を変化させて最大接合効率を高めることもできます。Hummingbirdアセットは、基板へのダイや基板のスタッキングなど、さまざまなウェハボンディング動作を行うように設計されています。このモデルは、フォトリソグラフィ、CMP、電気化学蒸着、バンピングなどの既存の半導体材料およびプロセスと互換性があります。また、校正要件を最小限に抑え、多種多様な環境条件で動作することができます。信頼できる性能に加えて、ASM Hummingbirdもコンパクトで軽量で使いやすいです。直感的なユーザーインターフェイスにより、セットアップ時間を最小限に抑えるだけでなく、リアルタイムの機器ステータスとフィードバックをユーザーに提供し、後でレビューするために保存することができます。そのため、性能や精度を犠牲にすることなく、自動ボンディングシステムをお探しの方に最適です。
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