中古 ASM Eagle 60XL #9302482 を販売中

ASM Eagle 60XLは、正確で信頼性の高いウェハレベルのボンディングに使用される焦点イオンビーム（FIB）ボンディングツールです。Eagle 60XLは、銅合金やアルミニウム合金をはじめ、様々な半導体、オプトエレクトロニクス、光機械装置など、幅広い金属接合用途向けに設計されています。このFIBツールは、高真空室、ガス噴射システム、荷電粒子ビームカラム、デボンディング/融合プラットフォームの4つの主要コンポーネントで構成されています。真空チャンバーは空気とガスの分子から解放された環境を提供し、荷電粒子ビームコラムは、焦点を当てたイオンビームがウェーハを標的にして結合することを可能にします。ガス注入システムは、ビームのエネルギーと速度を制御するために必要な不活性ガスを環境に追加します。一方、デボンディング/ヒューズプラットフォームは、金属または半導体材料を溶融して結合することを可能にします。ASM Eagle 60XLは、最大1ナノメートルの精度でさまざまな接合オプションをユーザーに提供します。また、プロセスを最適化するための幅広い温度、圧力、ガスのオプションを提供します。debonding/fusingプラットホームはプロセスの温度、圧力および持続期間の精密な制御と共に均一な温度のプロフィールを提供するように設計されています。Eagle 60XLは、金属の接合に加えて、in-situプロセス監視、ターゲット指向制御、自動熱循環、歩留まり監視など、さまざまな機能を提供します。in-situプロセス監視により、ボンドパラメータを正確に制御できます。一方、ターゲット指向制御により、ユーザーは複数のプロセスパラメータを事前設定および検証できます。ASM Eagle 60XLは、プロセスの信頼性を検証するために使用される自動サーマルサイクリングを実行する機能も提供します。Eagle 60XLには、実績のあるスループットとパフォーマンスを可能にする自動熱融合が含まれていますが、自動歩留まり監視機能により、結合が最高品質であることが保証されます。全体として、ASM Eagle 60XLは、信頼性の高い正確なウェハレベルのボンディングを必要とする人に最適な、高度で高精度のFIBボンディングツールです。これは、金属結合のフルレンジだけでなく、追加機能や機能の様々な提供しています。高精度、オートメーション、プロセスモニタリング、サーマルサイクル、歩留まりモニタリングの組み合わせにより、Eagle 60XL信頼性の高い金属または半導体ボンディングに最適です。