中古 ASM Eagle 60 #9396305 を販売中

ASM Eagle 60は、精度と再現性の高い結果を提供するように設計された自動ウェーハボンダーです。高度な技術を活用して、半導体ウェーハを正確に整列・接続し、単一のモノリシック構造を構築します。イーグル60は、XYZジンベールステージを備えており、ウェーハの間隔とアライメントの柔軟性を提供します。その運動装置は、所望の精度と結合パラメータを達成するために線形、円形、およびスキャンモーション設定を提供します。また、ウェーハの反りを検出して自動的に修正する機能も備えています。モーションはASM Eagle 60のEddyvectorr®モーションコントローラによって制御され、ウェーハステージを正確に移動させ、各ボンドサイクルとの正確なアライメントを実現します。Eagle 60には、ウェーハの画像をキャプチャして適切に校正、再現可能なアライメントを確保できる高度なビジョンマシンが含まれています。このビジョンツールには、高解像度カメラ、広視野光学、オートフォーカス機能も含まれています。これにより、ASM Eagle 60は、適切なアライメントとボンディング性能に不可欠なウェーハパターニングを識別および認識できます。イーグル60は、メインローディングステーションのボンダーに簡単にウェーハをロードする機能を備えています。直径300mmまでのウェーハに対応し、厚さ1。5mmまでのウェーハを接合できます。このアセットは、チップからチップ、ダイからダイ、ダイからウェーハ、ウェーハからウェーハまで、いくつかのボンドプロセスタイプを提供します。また、TABボンディング、非接触サファイアボンディング、高電流ボンディングなど、幅広いボンディング方法を提供しています。ASM Eagle 60には直感的なソフトウェアもあり、ボンディングパラメータの簡単なカスタマイズと設定が可能です。これに加えて、モデルの出力を監視するためのサイクルデータロギングと統計的プロセスコントロール（SPC）が含まれています。これは、ボンダーが期待どおりに機能しており、装置がアセンブリサイクルに達するたびにボンディングが仕様の基準を満たしていることを保証するのに役立ちます。これらの機能はすべて、信頼性の高い正確なボンディングソリューションをユーザーに提供するために協力しています。