中古 ASM Eagle 60 #9124545 を販売中

ASM Eagle 60は、半導体デバイス包装や基板相互接続などの精密接合用途向けに設計された自動金属接合装置です。このシステムは、信頼性の高い再現性の高い接合結果を提供するために、最先端の技術を搭載しています。ユニットは、電源、コントローラ、ウェーハステージの3つの主要コンポーネントで構成されています。電源はボンダーにDCまたはパルスDC電流を供給します。コントローラは、電流、圧力、温度などの結合プロセスのパラメータ、および処理作業の期間と順序を制御するために使用されます。ウェーハステージは、ウェーハを回転させ、ウェーハに対してボンダーヘッドを正確に配置するために使用されます。ボンダーヘッドには不活性ガス室、不活性ガス入口、電子ビームガンがあります。ガスチャンバーは、接合前のウェハ表面のパージや、接合作業に使用される電子ビームガンによる発熱量の制御に使用されます。不活性ガス入口は、接合時の酸化防止に不可欠なフッ素や窒素などの吸収ガスを供給します。Eagle 60には高精度のトラッキングマシンが搭載されており、接合プロセスを正確に制御できます。このツールは、線形フィードバック制御アルゴリズムを使用して、電子ビームガンの位置とウェーハプラットフォームの位置を制御します。これにより、ウェーハが適切に整列され、ボンディングプロセスがエラーや中断なく進行することが保証されます。ASM Eagle 60は、信頼性が高く、正確で使いやすい金属接合資産です。その特殊な機能により、幅広い半導体デバイス包装および基板相互接続アプリケーションに最適です。