中古 ASM AB 339 #9236025 を販売中

ASM AB 339は半導体産業の適用のために使用される完全に自動化されたボンダーです。高精度・高生産性・コストパフォーマンスを追求したウェーハ装置へのフルフィールドウェーハです。システムは、高度な監視とアライメントを可能にするフレームキャプチャユニットとペアリングされた単一のレンズ設計を持っています。ASM AB339は、フロントとリアの両方のウェーハを移動してロードすることができる統合されたウェーハハンドリングマシンを備えています。このツールは、ウェーハの正確な配置を保証し、潜在的なずれを排除します。自動的にキャリブレーションされたツーリングアセットは、正しいピックアップ位置に到達し、ウェーハの効率的な接合を保証します。AB 339はまた、CCD （Charge Coupled Device）技術に基づく統合イメージングモデルを利用しています。このイメージング装置は、ウェーハの高解像度画像を提供することができ、自動制御と手動制御の両方を備えています。イメージングシステムには、自動アライメント機能とフォーカス機能、および事前調整されたfiducialsへのフォーカスの手動制御が含まれています。さらに、AB339は温度制御ウェーハホルダーを使用して、ボンダー内の正確な温度制御を保証します。これにより、接合されるウェーハ間に熱不一致がなく、正確で再現性のある接合が保証されます。これは、温度精度を確保するために、オンボードの温度制御ユニットと連携して動作します。ASM AB 339は、複数の船内安全メカニズムを備えており、オペレーションが安全に完了するようにしています。これには、ウェーハの衝突や過負荷を防ぐためのSet Target PointとSpacer Height Sensorが含まれます。さらに、接合プロセスに関連する潜在的な危険を検出するための事故検出機があります。最後に、ASM AB339は、接合および計測のための最も厳しい業界基準を満たすように設計されています。このツールは、JEDEC規格のクラスA/B/Cに完全に準拠しており、複数の自動品質管理機能を備えています。これには、統合された非接触計測、自動化されたプログラム可能な目視検査、および結合パスの自動カウントが含まれます。これらの機能はすべて、正確で反復可能な結合を可能にし、故障の公差を低減します。