中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9075411 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000は、シリコンウェーハ、レチクル、ガラススライドなど、さまざまな微細構造基板を加工するウェットワークステーションです。マイクロスケールのデバイスの製造に不可欠な3つの物理的および化学的プロセスを組み合わせた汎用性の高いユーザーフレンドリーなデバイスです。最初のプロセスはウェットエッチングで、事前に定義された基板領域から不要な材料を除去するために使用されます。これは、二酸化ケイ素や他の誘電体などの材料の層を微妙にエッチングする、水性または有機エッチング溶液の正確に制御されたスプレーによって可能になります。TEL UW-8000には、基板表面にエッチング剤を最適に分配するための各種ノズルが装備されており、堆積パターンまたはエッチングパターンの均一性と完全性を確保しています。第2のプロセスはぬれたクリーニングです。これにより、エッチング材を基板表面から安全かつ効率的に洗浄することができます。これは、さまざまなスプレー特性を生成して不要な粒子を効果的に除去し、基板表面からビルドアップするために設定できる調整可能な流量液体ジェットを使用することによって達成されます。最後に、東京エレクトロンUW 8000もウェットコーティングを容易にします。これは、優れた精度で望ましい基板位置に水性または溶媒ベースのソリューションを分配する特殊設計のノズルを使用することによって達成されます。要するに、UW 8000は、ウェットエッチング、ウェットクリーニング、ウェットコーティングの3つの重要な物理的および化学的プロセスをシームレスに組み合わせ、マイクロスケールのデバイスの製造を可能にする強力で信頼性の高いウェットワークステーションを表しています。そのユーザーフレンドリーな設計とこれらのプロセスを制御する上で比類のない器用さにより、さまざまな微細構造の基板アプリケーションに最適です。