中古 SANKYO WH80 #293608546 を販売中

サンキョウエットステーション（SANKYO WH80 wet station）は、半導体ウェハのウェット加工を行うオールインワンマシンです。フォトレジストコーティング、開発、計測、後処理などの主要プロセスにおいて、最高の精度と信頼性を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイス、幅広いカスタマイズ可能なオートメーションオプション、高度な制御ソフトウェアを備えているため、ハイエンドの半導体生産ラインに最適です。このマシンにはコントローラとインテリジェントロボットが装備されており、基板をステーションからステーションに移動します。このマシンは、アームとノズルアセンブリの交換が可能なメインフレームを備えており、基板処理の柔軟性を可能にします。メインフレームには、ウェーハクリーニングステーション、ルーティングステーション、およびウェーハを制御およびルーティングするゲートステーションも含まれています。フォトレジストコーティングステーションでは、ウェハにフォトレジストを自動的にコーティングし、スピンを乾燥させます。開発ステーションは、薄くて硬いレジスト、エッジビーズのレジスト、負のレジストなど、さまざまなレジストプロファイルを開発することができます。また、ウェーハの洗浄・乾燥が可能であり、湿式化学ステーション、汚泥濾過ステーション、アニーリングステーションも備えています。ウェットステーションWH80また、ウェーハサイズ、抵抗、エッチング深さ、表面粗さなど、ウェーハ生産のさまざまなパラメータを測定するために使用できる包括的な計測システムを備えています。また、オーバーレイ性能やプロセス再現性などの詳細な解析データも提供します。マシンは制御ソフトウェアに接続されており、ユーザーはその機能をリモートで制御することができます。さらに、ソフトウェアは、組み込みの最適化アルゴリズムのおかげで、生産プロセスを最適化するために使用することができます。SANKYO WH80ウェットステーションは、半導体メーカーにとって貴重なツールであり、ウェット加工のオールインワンソリューションを提供します。これは、最高レベルのパフォーマンスと精度を提供する信頼性の高い費用対効果の高いツールです。幅広い自動化オプション、包括的な計測機能、ユーザーフレンドリーな設計により、ウェットステーションWH80効率的な生産に最適です。