中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272 を販売中

ID: 9400272
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Wet bench, parts system, 8" (4) Tanks: HF SC1 SC2 DIW O3 Capabilities 2007 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellanは、半導体業界の要求を満たすように設計されたウェット処理ステーションです。スピンオン誘電、リフトオフ、エッチング、成膜などの用途に使用できるように設計されています。FSI Magellanは、最大400 x 500 mmの大型基板の加工が可能です。TEL Magellanは、高アスペクト比ギャップフィル、リフトオフ、スティッションコントロールなど、さまざまな高度なリソグラフィープロセスを実行できます。高精度の二軸光学ステージを持ち、最大変換速度は0。5 μ m/sec、位置決め精度は1。5 nmです。ステージは、1。5 Nまでのハンドリング力を備えた1インチから8インチまでのウェーハをサポートできます。Magellanには、受賞歴のある正確なタイミング制御のための電子ビームリソグラフィ装置が装備されています。統合されたシステムは、さまざまなプログラム可能な電源電極と互換性があり、正確な電圧と電流の組み合わせを可能にします。このユニットは、最大5。5 μ mの解像度で高解像度の画像を提供することができます。TOKYO ELECTRON Magellanは、水性、有機、毒性など、さまざまなシングルウェーハプロセス化学に対応しています。また、スクラブ、エッチング、蒸着など、様々なウェットケミカルプロセスを自動化しています。統合された自動化された機械は精密な制御の大量プロセスを動かすことができます。さらに、ステーションには包括的な安全と環境保護装置が装備されています。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellanは、生産性を最大化し、迅速なターンアラウンドでエラーのない処理を容易にするように設計されています。駅はユーザーフレンドリーで、迅速かつ簡単なインストールを提供しています。ステーションはまた、レシピ管理やプロセス監視など、さまざまな機能を備えた直感的な操作を提供します。FSI MagellanはFSIの使いやすいソフトウェアでサポートされており、ユーザーは独自のプロセスレシピを開発し、データを保存することができます。TEL Magellanは、シンプルなエッチングから複雑なリソグラフィまで、幅広いプロセスを提供できる多機能ウェットステーションです。これは、大量かつ高精度のアプリケーションをサポートするように設計されており、迅速な生産のターンアラウンドを容易にすることができます。Magellanはまた、包括的な安全と環境保護対策とともに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供しています。
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