中古 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #197824 を販売中

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ID: 197824
ヴィンテージ: 1984
Wafer Surface Profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK IIAウェハテストおよび計測機器は、さまざまな地形およびナノ表面特性評価ニーズに対応するように設計された、自動化された汎用性の高い計測プラットフォームです。このシステムは、半導体製造、研究開発、および分析表面科学におけるアプリケーションのためのロープロファイル、非接触診断を提供します。VEECO DEKTAK IIAは、静電容量駆動の非接触スタイラス測定ユニットを使用して、表面粗さとステップ高さ、および表面抵抗/導電率の相関測定に適しています。SLOAN DEKTAK IIAは、サンプル上の最小の地形特性でも正確にキャプチャするために、0。1ミクロン(10 nm)の低解像度の抵抗スキャンを実装しています。スキャン速度および接触力は調節可能で、ユーザーが観察されるサンプルの必要性によりよく合うように機械を調節することを可能にします。DEKTAK IIAは1000Xまでのダイナミックレンジを提供し、高アスペクト比のサンプルを正確かつ再現可能に測定できます。直感的なソフトウェアパッケージを使用すると、表示をカスタマイズして輪郭マップ、断面プロファイル、およびその他のグラフィカル表示を表示できます。これにより、サンプル上の形態学的特徴をすばやく識別することができ、試料の包括的な理解をユーザーに提供します。VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、単に地形特性を測定するだけでなく、さまざまなウェハテストや計測アプリケーションにも使用できます。これには、フォトリソグラフィ、製版、中間誘電体測定、非接触化学濃度測定が含まれます。VEECO DEKTAK IIAには、フォトレジストおよびフォトレジスト層の厚さを直接撮影できるオプションのUV光源も装備されています。最も正確な結果を保証するために、SLOAN DEKTAK IIAはまた、さまざまなサンプルサイズのサンプルホルダーを幅広く提供しています。これにより、測定プロセス中にシフトするリスクがなく、サンプルを確実に所定の位置に保持できます。DEKTAK IIAは、自動化された操作のために設計されており、さまざまな計測ニーズに迅速かつ信頼性の高いデータ収集を提供します。
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